Yarı iletken sınıfı Kuvars Çan Kavanozu

Yarı iletken sınıfı kuvars çan kavanozu yüksek saflıkta kuvars malzemeden yapılmıştır. Mükemmel termal stabiliteye ve güçlü korozyon direncine sahiptir ve birçok alanda kullanılır. Yarı iletken endüstrisinde: Yarıiletken Sınıfı Kuvars Bell Kavanozu, kimyasal buhar birikimi (CVD) sırasında gofretler üzerinde ince film birikimi için kontrollü bir ortam sağlar. Yarı iletken sınıfı kuvars çan kavanozu, optik kaplamalar, metal kaplamalar ve diğer ince film malzemeleri üretimi gibi vakum teknolojisi gerektiren işlemlerde de kullanılır. Yarı iletken sınıfı kuvars çan kavanozu, yüksek saflıkta, vakumla kapatılmış bir ortam gerektiren birçok fiziksel ve maddi bilim deneyinde de gereklidir.

Yarı iletken endüstrisi kullanım senaryoları:

Polisilikon, entegre devrelerde, güneş pillerinde ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılan birçok küçük taneden oluşan bir silikon malzemedir. Kimyasal buhar birikimi (CVD), polikristalin silikon hazırlamak için ana yöntemlerden biridir. Temel prensip, SIH4 gibi silikon kaynak gazının yüksek sıcaklıkta ayrıştırılması ve polikristalin silikon oluşturmak için substrat üzerinde biriktirilmesidir.

SIHCL3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Yüksek sıcaklık ve vakum koşulları altında silikon kaynak gazı, kimyasal buhar birikimine beslendi. Sonunda çok kristalli silikon elde edilir. Yarı İletken Sınıf Kuvars Çan Kavanoz, çok kristalli silikon CVD reaktörünün önemli bir parçasıdır.

Polikristalin silikon CVD reaktörü

CVD'nin yüksek sıcaklık reaksiyonu altında, yarı iletken sınıfı kuvars çan kavanozu düzgün bir termal ortam sağlayabilir. Yüksek saflıkta kuvars malzemesinin yüksek sıcaklık direnci (yaklaşık 1100 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir), CVD reaksiyonlarında stabil bir şekilde çalışmasını ve reaksiyon alanında homojen sıcaklık dağılımı sağlamasını sağlar. CVD işleminde, PH3, vb. Gibi birçok toksik gaz bileşeni vardır. Yarı iletken sınıfı kuvars çan kavanozu, zararlı gaz sızıntısını önlemek için reaksiyon odasındaki kimyasal gazları dış ortamdan etkili bir şekilde izole edebilir. Yüksek saflıkta kuvars malzemesinin korozyon direnci, diğer malzemelerin CVD işlemi sırasında uzun süre istikrarlı bir şekilde çalışmasını sağlar ve kolayca aşındırılamaz veya hasar görmez.

Kuvars çan kavanozu kuvars ısı koruma tüpü ve dikey kuvars teknesi ile birlikte kullanılır ve çoğunlukla yarı iletken entegre devre çipi üretiminin epitaksiyal işleminde kullanılır. Epitaksiyal fırın genellikle dikey kuvars teknesinin dışındaki kuvars çan kavanozu ve bir destek olarak kuvars ısı koruma tüpü ile dikey bir yapı benimser.

Yarı İletken Sınıf Kuvars Çan Kavanozunun yüksek sıcaklık ortamında bir başka tipik uygulaması: Sert lehimleme için bir grup ortodontik parçayı inert bir atmosferde 1 saniye içinde 704 ° C'ye ısıtmak:

Vetek Semiconductor'ın olgun bir teknik ekibi var. Hangi yüksek saflıkta kuvars çan kavanozu şekli veya malzemesi olursa olsun, sizin için uyarlayabiliriz.

Vetek Yarıiletken Ürünleri Mağazaları: