SiC Kaplama Epi alıcısı

Vetek Semiconductor, yapılan EPI'yi kaplamak için Çin'de profesyonel üreticidir.

Vetek Semiconductor'ın SIC kaplama epi suyunu grafit ve silikon karbürden yapılmıştır. Bu SIC kaplama ürünü, daha istikrarlı bir performansa ve uzun hizmet ömrüne sahip olan ve Avrupalı ​​ve Amerikalı müşterilerimiz tarafından büyük övgü alan ithal grafit kullanır. Aynı zamanda, SIC kaplama EPI suyunun konsantrasyonu 5ppm'nin altındadır ve homojenlik çok iyidir. Sürekli teknolojik yükseltmelerden sonra Vetek Semiconductor, SIC kaplama ve grafit malzemelerinin termal genleşme katsayısı arasında iyi bir eşleşme oluşturmak için yeni bir işlem kullanır.

SiC Kaplama Epi Süseptör, yarı iletken ekipmanlarda yüksek sıcaklık ve korozif ortamlarda özel olarak kullanılır. SiC Kaplama Epi susceptor, AIXTRON gibi ekipmanlarda, özellikle derin ultraviyole epitaksi (DUV Epitaksi) işleminde yaygın olarak kullanılır ve önemli bir rol oynar.

Derin ultraviyole epitaksi (DUV epitaksi) işleminde, SIC kaplama epi suyunun mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci ile birleştiğinde, SIC kaplama epi suyunu, epitaksi işlemi sırasında bir taşıyıcı olarak aixtron ekipmanındaki reaksiyon odasının etrafına monte edilir. ekipmana zarar vermek veya kirletmek.

Bu SIC kaplama epi suyeni derin ultraviyole epitaksi için tasarlanmıştır. Silikon karbür ceketini kesinlikle kontrol ediyoruz, grafit ve silikon karbür kaplamaları arasındaki termal genleşme katsayılarındaki farklılıkların neden olduğu sorunları azaltmak için tampon katman teknolojisini dahil ediyoruz, böylece ürünün ömrünü uzatıyoruz. Şu anda, ürünümüz çok sayıda övgü aldı ve iç pazarın en iyilerinden biri olarak kabul ediliyor.

SiC Kaplama ürünlerinde endüstri lideri olan VeTek Semiconductor, ürün özelleştirme hizmetlerini ve tatmin edici ürün fiyatlarını destekler ve daha fazla danışmanlık hizmetinizi sabırsızlıkla beklemektedir.

CVD sic filminin SEM verileri:

VeTek Yarı İletken SiC Kaplama Etek ürün mağazaları:

Yarı iletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: