SIC difüzyon fırın tüpü

SIC difüzyon fırını tüpünün çalışma şeması diyagramı

Vetek Semiconductor Sic difüzyon fırın tüpü aşağıdaki ürün avantajlarına sahiptir:

Mükemmel yüksek sıcaklık mekanik özellikleri: SIC difüzyon fırın tüpü, mükemmel mukavemet ve sürünme direnci dahil olmak üzere bilinen herhangi bir seramik malzemenin en iyi yüksek sıcaklık mekanik özelliklerine sahiptir. Bu, yüksek sıcaklıklarda uzun süreli stabilite gerektiren uygulamalar için özellikle uygun hale getirir.

Mükemmel oksidasyon direnci: Vetek Semiconductor'ın SIC difüzyon fırın tüpü, oksit olmayan tüm seramiklerin en iyisi olan mükemmel oksidasyon direncine sahiptir. Bu özellik, yüksek sıcaklık ortamlarında uzun süreli stabilite ve performans sağlar, bozulma riskini azaltır ve tüpün ömrünü uzatır.

● Yüksek bükülme mukavemeti: Veteksemi difüzyon fırın tüpü, yarı iletken üretim süreçlerinin tipik yüksek stres koşulları altında mükemmel mekanik özellikler ve yapısal bütünlük sağlayarak 200MPA'nın üzerinde bir bükülme mukavemetine sahiptir.

● Mükemmel korozyon direncie: SIC fırın tüpünün kimyasal etkisi, mükemmel korozyon direnci sağlar, bu tüpleri yarı iletken işlemede sıklıkla karşılaşılan sert kimyasal ortamlarda kullanım için ideal hale getirir.

● Yüksek aşınma direnci: SIC tüp fırınları güçlü aşınma direncine sahiptir, bu da boyutsal stabiliteyi korumak ve aşındırıcı koşullarda uzun süre kullanıldığında bakım gereksinimlerini azaltmak için gereklidir.

● CVD kaplamalı: Vetek Yarıiletken Kimyasal Buharı Birikimi (CVD) SIC kaplama,%99.9995'ten daha fazla saflık seviyesine, 5ppm'den daha az safsızlık içeriğine ve 1ppm'den daha az zararlı metal safsızlıklarına sahiptir. CVD kaplama işlemi, tüpün, yüksek hassasiyetli yarı iletken üretim ortamları için kritik olan 2-3torr'un katı vakum gerginlik gereksinimlerini karşılamasını sağlar.

● Difüzyon fırınlarında uygulama: Bu SIC tüpleri, doping ve oksidasyon gibi yüksek sıcaklık süreçlerinde önemli bir rol oynadıkları yarı iletken difüzyon fırınları için tasarlanmıştır. Gelişmiş malzeme özellikleri, bu işlemlerin zorlu koşullarına dayanabilmelerini, böylece yarı iletken üretiminin verimliliğini ve güvenilirliğini artırmalarını sağlar.

Vetek Semiconductor uzun zamandır yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kararlıdır ve profesyonel özelleştirilmiş hizmetleri desteklemektedir. Vetek Semiconductor'ın SIC difüzyon fırın tüpünü seçerken, modern yarı iletken üretiminin çeşitli ihtiyaçlarını karşılamak için mükemmel performansa ve yüksek güvenilirliğe sahip bir ürün elde edersiniz. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.

Vetek Semiconductor Sic Difüzyon Fırını Tüp Ürünleri Mağazaları: