TAC kaplı halka

Veteksemi TAC kaplı halka, yarı iletken üretim işlemleri için tasarlanmış yüksek performanslı bir bileşendir. Benzersiz tasarlanmış tantal karbür (TAC) kaplaması, ürüne mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve mekanik stabilite verir, bu da yarı iletken ekipmandaki grafit bileşenlerinin servis ömrünü ve güvenilirliğini önemli ölçüde artırır.

Tantalum Karbür Kaplamaların Üstün Performansı ：

● Ultra yüksek sıcaklık direnci: TAC kaplamaları, 2200 ° C'ye kadar aşırı sıcaklıklara kolayca dayanabilir ve yarı iletken üretiminde yaygın olan termal şok ortamları altında stabil kalabilir.

● Mükemmel kimyasal stabilite: Kaplama, hidrojen, amonyak, silan ve silikon gibi yaygın aşındırıcı gazlara karşı güçlü bir direnç gösterir ve substratı kimyasal ataktan etkili bir şekilde korur.

● Mükemmel mekanik özellikler: TAC kaplama yüksek sertliğe, yüksek aşınma direncine ve iyi termal şok direncine sahiptir ve sert çalışma koşulları altında uzun süre stabil olarak çalışabilir.

● Mükemmel yapışma: Kaplama, grafit substratına sıkı bir şekilde bağlanır, kaplamanın soyulmasını etkili bir şekilde önler ve ürünün hizmet ömrü boyunca tutarlı performans sağlar.

● Yüksek saflık: CVD tarafından hazırlanan TAC kaplama, safsızlıkların piyasaya sürülmesini en aza indiren ve yarı iletken üretimi için temiz bir işlem ortamı sağlayan son derece yüksek saflığa sahiptir.

Tantal karbür kaplı halkaların avantajları:

● Genişletilmiş ekipman ömrü: TAC kaplama, kimyasal reaksiyonları ve safsızlık difüzyonunu etkili bir şekilde bloke eder, grafit bileşenlerinin servis ömrünü önemli ölçüde genişletir ve bakım maliyetlerini azaltır.

● Üretim verimliliğini artırmak: Ürünün yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci, daha zorlu koşullar altında çalışmasını, üretim döngüsünü kısaltmasını ve üretim kapasitesini artırmasını sağlar.

● Geliştirilmiş ürün kalitesi: Yüksek saflıkta TAC kaplama, yarı iletken ürünlerin kalitesini ve tutarlılığını sağlayarak kontaminasyonu azaltmaya yardımcı olur.

Vetek Semiconductor, gibi TAC kaplama ürünlerinde uzmanlaşmıştır.Tac kaplama aynası, TAC Kaplama Döndürme Plakası, Tac kaplama subser, TAC kaplı gofret sarmaluzun yıllardır. TAC kaplı halka ürünlerimiz, genişletilmiş ekipman ömrü, geliştirilmiş üretim verimliliği ve iyileştirilmiş ürün kalitesi işlevlerine sahiptir. Aynı zamanda, Vetek Semiconductor uzun zamandır yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kararlıdır. 

Grafit ve tantal karbür malzemelerinin farklı kimyasal özellikleri nedeniyle, termal genleşme katsayısı eşleşmeyecek ve Matrix'in yüzeyine kısmen biriktirilen tantalum karbür kaplama ile, vetek yarı iletken tarafından yüksek sıcaklıkta ısıtılmak kolaydır. Bu şekilde, tantal karbür kaplama, kaplama ve matris arasındaki bağlanma kuvvetini önemli ölçüde artıran ve tantal karbür kaplamasının soyulmasını etkili bir şekilde önleyen grafit matrisinde sıkı bir şekilde yuvalanmıştır.

Tantal karbür kaplı yüzük dükkanları: