Silisyum Karbür Seramikler

VeTek Semiconductor, yarı iletken işleme alanında yenilikçi ortağınızdır. Yarı iletken sınıfı Silisyum Karbür Seramik malzeme kombinasyonlarından oluşan geniş portföyümüz, bileşen üretim yeteneklerimiz ve uygulama mühendisliği hizmetlerimizle, önemli zorlukların üstesinden gelmenize yardımcı olabiliriz. Mühendislik tekniği Silisyum Karbür Seramikler, olağanüstü malzeme performanslarından dolayı yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. VeTek Semiconductor'ın ultra saf Silisyum Karbür Seramikleri, yarı iletken üretim ve işleme döngüsünün tamamında sıklıkla kullanılır.

DİFÜZYON VE LPCVD İŞLEME

VeTek Semiconductor, aşağıdakiler de dahil olmak üzere toplu difüzyon ve LPCVD gereksinimleri için özel olarak tasarlanmış mühendislik seramik bileşenleri sağlar:

• Bölmeler ve tutucular
• Enjektörler
• Gömlekler ve proses tüpleri
• Silisyum Karbür Konsol Kürekler
• Gofret tekneleri ve kaideler

SiC Konsol Kürek SiC Proses Tüpleri Silisyum Karbür Proses Borusu SiC dikey gofret teknesi SiC yatay gofret teknesi SiC yatay dörtlü gofret teknesi SiC LPCVD gofret teknesi SiC yatay plakalı tekne SiC Seramik Conta Halkası

AŞINDIRMA SÜRECİ BİLEŞENLERİ

Aşağıdakiler de dahil olmak üzere, plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirin:

HIZLI ISIL İŞLEM VE EPİTAKSİYEL İŞLEM BİLEŞENLERİ

VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisindeki yüksek sıcaklıktaki ısıl işlem uygulamaları için özel olarak tasarlanmış gelişmiş malzeme bileşenleri sağlar. Bu uygulamalar RTP, Epi işlemleri, difüzyon, oksidasyon ve tavlamayı kapsar. Teknik seramiklerimiz termal şoklara dayanacak, güvenilir ve tutarlı performans sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Yarı iletken üreticileri, VeTek Semiconductor bileşenleriyle verimli ve yüksek kaliteli termal işleme ulaşarak yarı iletken üretiminin genel başarısına katkıda bulunabilir.