Katı SIC disk şeklindeki duş başlığı

Katı SIC disk şeklindeki duş kafasının CVD işleminde rolü, reaksiyon gazını biriktirme alanının üzerindeki eşit olarak dağıtmaktır, böylece gaz düz ve tek tip bir film elde etmek için reaktör boyunca eşit olarak dağıtılabilir.

Katı SIC duş başlığı, CVD fırının üstüne veya gaz girişinin yakınında yer alır. Reaksiyon gazı disk şeklindeki yapıya duş başlığı üzerine dağıtılan deliklerden girer ve duş başlığı yüzeyi boyunca yayılır. Çok kanallı tasarım ve eşit dağılmış çıkışlar yoluyla, reaksiyon gazı tüm reaktör alanına eşit olarak akabilir, konsantrasyon veya türbülanstan kaçınabilir ve substrat üzerinde biriken tabaka kalınlığının tutarlılığını sağlayabilir.

Aynı zamanda, yarı iletken disk şekil duş kafasının yapısı, gazın akış hızını etkili bir şekilde azaltabilen bir difüzyon etkisine sahiptir, böylece nozul çıkışında eşit olarak dağılabilir ve lokal gaz akışı değişikliklerinin biriktirme etkisi üzerindeki etkisini azaltabilir. Substrat üzerinde doğrudan gaz etkisinin önlenmesine yardımcı olur ve eşit olmayan biriktirme problemini önlemeye yardımcı olur.

Malzemeler açısından, katı SIC gaz duş başlığı, yüksek sıcaklığa dayanıklı, korozyona dayanıklı ve çok yüksek stabiliteye sahip yüksek mukavemetli katı SIC malzemesinden yapılmıştır. CVD fırında uzun süre istikrarlı bir şekilde çalışabilir ve uzun bir hizmet ömrüne sahiptir.

Vetek Semiconductor yüksek kaliteli özelleştirilmiş hizmetler sunar. Katı SIC disk şeklindeki duş kafasının şekli ve delik düzeni, farklı gaz türlerine, akış hızlarına ve biriktirme malzemelerine uyum sağlamak için müşterinin işlem gereksinimlerine göre esnek bir şekilde ayarlanabilir. Farklı boyutlarda reaktör veya substrat boyutları için, farklı çaplara ve delik dağılımlarına sahip disk şeklindeki duş başlıkları, gaz dağılım etkisini optimize etmek için özelleştirilebilir.

Vetek Semiconductor, katı SIC yarı iletken duş kafası ürünleri için olgun süreçlere ve ileri teknolojilere sahiptir ve çok sayıda müşterinin CVD süreçlerinde sürekli ilerleme sağlamasına yardımcı olur. Vetek Semiconductor, Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyor.

Katı sic'in fiziksel özellikleri

YarıiletkenKatı SIC disk şeklindeki duş kafası yapım mağazaları