TAC Kaplama Kılavuzu Yüzükler

TAC kaplama kılavuz halkalarının işlevi:

Kesin gaz akışı kontrolü:TAC Kaplama Kılavuzu Yüzükstratejik olarak gaz enjeksiyon sistemi içinde konumlandırılmıştır.MOCVD reaktörü. Birincil fonksiyonu, öncü gazların akışını yönlendirmek ve substrat gofret yüzeyinde düzgün dağılımını sağlamaktır. Gaz akışı dinamikleri üzerindeki bu kesin kontrol, düzgün epitaksiyal tabaka büyümesi ve istenen malzeme özellikleri elde etmek için gereklidir.

Termal yönetimi: TAC kaplama kılavuzu halkaları, ısıtmalı suyuna ve substrata yakınlıkları nedeniyle genellikle yüksek sıcaklıklarda çalışır. TAC’nin mükemmel termal iletkenliği, ısının etkili bir şekilde dağıtılmasına yardımcı olur ve lokalize aşırı ısınmayı önler ve reaksiyon bölgesi içinde sabit bir sıcaklık profilini korur.

MOCVD'de TAC avantajları:

Aşırı sıcaklık direnci: TAC, 3800 ° C'yi aşan tüm malzemeler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir.

Olağanüstü kimyasal inertlik: TAC, MOCVD'de kullanılan amonyak, silan ve çeşitli metal-organik bileşikler gibi reaktif öncü gazlardan korozyon ve kimyasal saldırıya karşı olağanüstü bir direnç gösterir.

Fiziksel özellikleriTac kaplama:

MOCVD performansı için avantajlar:

MOCVD ekipmanlarında Vetek Semiconductor TAC Kaplama Kılavuzu halkasının kullanımı aşağıdakilere önemli ölçüde katkıda bulunur:

Artan ekipman çalışma süresi: TAC Kaplama Kılavuzu halkasının dayanıklılığı ve uzatılmış ömrü, sık sık değiştirme ihtiyacını azaltır, bakım kesintisini en aza indirir ve MOCVD sisteminin operasyonel verimliliğini en üst düzeye çıkarır.

Geliştirilmiş süreç istikrarı: TAC'nin termal stabilitesi ve kimyasal etkisi, MOCVD odasında daha kararlı ve kontrollü bir reaksiyon ortamına katkıda bulunur, işlem varyasyonlarını en aza indirir ve tekrarlanabilirliği artırır.

Geliştirilmiş epitaksiyal tabaka homojenliği: TAC Kaplama Kılavuzu halkaları tarafından kolaylaştırılan hassas gaz akış kontrolü, tek tip öncü dağılımı sağlar ve bu da yüksek derecede tek tip ile sonuçlanırepitaksiyal tabaka büyümesitutarlı kalınlık ve bileşim ile.

Tantal karbür (TAC) kaplamaMikroskobik bir kesitte: