TAC Kaplama Döndürme Plakası

Vetek Semiconductor'ın TAC kaplama rotasyon plakası, yüksek saflıklı bir bileşime, 5ppm'den daha az bir safsızlık içeriğine ve LPE EPI sistemlerinde, Aixtron sistemlerinde, NUFLARE sistemlerinde, TEL CVD sistemlerinde, Veeco sistemlerinde, Veeco sistemlerinde yaygın olarak kullanılan yoğun ve düzgün bir yapıya sahiptir.

● Mükemmel Mekanik Özellikler:

Mükemmel aşınma direnci ile 2300HV'ye kadar kaplama sertliği.

Kaplama ve substrat arasındaki yapışma güçlüdür ve düşmesi veya soyulması kolay değildir.

Kaplama yine de yüksek sıcaklıkta iyi yapısal stabilite koruyabilir.

●  Mükemmel korozyon direnci:

TAC malzemesinin kendisi mükemmel kimyasal stabilite ve korozyon direncine sahiptir.

Vetek Semiconductor'ın kaplamaları çeşitli agresif gaz ortamlarında iyi performans gösterir.

Ekipmanın iç bileşenlerini korozyon hasarından etkili bir şekilde koruyabilir.

● Yüksek yüzey kaplaması:

Vetek Semiconductor, istenen kaplamayı üretmek için hassas bir kaplama işlemi kullanır.

Düşük yüzey pürüzlülüğü, parçacık birikimini ve birikimini azaltmaya yardımcı olur.

● Kaplama kıvamı iyidir:

Vetek Semiconductor, gruplar arasında tutarlı performans sağlamak için bir ses kalitesi kontrol sistemine sahiptir.

Kaplama kalınlığı eşit olarak dağıtılır ve belirgin bir yerel kusur yoktur.

● Mükemmel pratik uygulama performansı:

Vetek Semiconductor'ın TAC kaplaması, yurtiçinde ve yurtdışında iyi bilinen epitaksiyal ekipman üreticilerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

TAC kaplı rotasyon plakasının ürün fiziksel parametresi:

Mikroskobik bir kesitte tantal karbür kaplama