VEECO MOCVD (LED Epitaksi) için Gofret Taşıyıcı

Ürün Özellikleri:

1. Yoğun CVD SiC katmanına sahip yüksek saflıkta grafit taban
2. Kararlı LED epitaksi için iyi termal tekdüzelik
3. Proseste kullanılan NH₃, HCl ve diğer aşındırıcı gazlara karşı dayanıklıdır
4. Düşük parçacık dökülmesi ve uzun servis ömrü
5. Cep tasarımları farklı plaka boyutları ve reaktör platformları için özelleştirilebilir
6. Uzun süreli, yüksek sıcaklıkta MOCVD çalışması için iyi çalışır

Uygulamalar:
Bu levha taşıyıcıları LED ve bileşik yarı iletken epitakside yaygın olarak kullanılmaktadır:

• GaN LED epitaksi
• Mavi-yeşil LED epitaksi
• Derin UV LED büyümesi
• Si tabanlı GaN epitaksi
• Genel bileşik yarı iletken üretimi

Özel taşıyıcı çözümler, aşağıdakiler gibi birden fazla LED MOCVD platformuna uygundur:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimaks

Teknik Avantajlar:

1. CVD SiC kaplamasize iyi yoğunluk ve saflık veren teknoloji
2. Kaplama kalınlığı değişimi ±10 μm dahilinde tutulur - termal performansın sabit kalmasına yardımcı olur
3. İyi levha uyumu ve dönme stabilitesi için 3 μm'ye kadar hassasiyette CNC işleme
4. Kaplama iyi yapışır ve tekrarlanan yüksek sıcaklıkta MOCVD döngülerinden sonra çatlamaya karşı direnç gösterir
5. NH₃, HCl ve diğer zorlu epitaksi ortamlarını sorunsuzca yönetir
6. Yüksek verimi desteklemek için düşük parçacık üretimi ve temiz yüzeyLED epitaksi
7. Farklı reaktör platformları ve plaka düzenleri için büyük veya özel boyutları kaplayabilir
8. Uzun deneyimözel grafit ve SiC kaplı parçalarLED ve bileşik yarı iletken epitaksi için

SSS:
1. Bir gofret taşıyıcısı ne işe yarar?MOCVDLED epitaksi?

C: Plakaları MOCVD reaktörünün içinde tutar ve döndürür ve epitaksiyel büyüme sırasında sıcaklığın sabit kalmasına yardımcı olur.

2. MOCVD için neden SiC kaplı grafit levha taşıyıcıları kullanılmalı?

C:CVD SiC kaplamadaha iyi korozyon direnci, termal stabilite ve dayanıklılık sağlar. Aynı zamanda yüksek sıcaklıktaki epitakside partikül kontaminasyonunun azaltılmasına da yardımcı olur.

3. Vetek Semiconductor özel plaka taşıyıcıları üretiyor mu?
C: Evet. Reaktör platformunuza, plaka boyutuna, cep düzenine ve diğer proses ihtiyaçlarınıza göre özel taşıyıcılar tasarlayabiliriz.