AIXTRON MOCVD Destekçisi

Tarafından üretilen SuseptörlerVetek YarıiletkenGrafit substrat ve silisyum karbür (SiC) kaplama malzemesinden yapılmıştır. SiC malzemesinin daha yüksek aşınma direnci, korozyon direnci ve son derece yüksek sertliği göz önüne alındığında, zorlu proses ortamlarında kullanıma özellikle uygundur. Bu nedenle Vetek Semiconductor tarafından üretilen Süseptörler, yüksek sıcaklıktaki MOCVD proseslerinde ek yüzey işlemine gerek kalmadan doğrudan kullanılabilir.

Duygular, yarı iletken üretiminde, özellikle ince film biriktirme süreçleri için MOCVD ekipmanlarında temel bileşenlerdir. Ana rolüAixtron SiC AlıcısıMOCVD prosesinde yarı iletken levhaların taşınması, düzgün ısı dağılımı ve reaksiyon ortamı sağlanarak ince filmlerin düzgün ve kaliteli birikmesini sağlamak, bu sayede yüksek kaliteli ince film üretimi elde etmektir.

AIXTRON MOCVD Destekçisigenellikle biriktirme işlemi sırasında gofretin stabilitesini sağlamak için yarı iletken gofret tabanını desteklemek ve düzeltmek için kullanılır. Aynı zamanda, Aixtron MOCVD suyunun yüzey kaplaması, oldukça termal olarak iletken bir malzeme olan silikon karbürden (sic) yapılır. SIC kaplama, gofretin yüzeyinde düzgün bir sıcaklık sağlar ve yüksek kaliteli filmler elde etmek için düzgün ısıtma gereklidir.

Üstelik,AIXTRON MOCVD DestekçisiOptimize edilmiş malzemelerin tasarımı yoluyla reaktif gazların akışını ve dağılımını kontrol etmede daha büyük bir rol üretiyoruz. Düzgün film birikimi elde etmek için girdap akımlarından ve sıcaklık gradyanlarından kaçının.

Daha da önemlisi, MOCVD işleminde, silikon karbür (sic) kaplama malzemesi korozyon direncine sahiptir, bu nedenleVetek Yarıiletken'SAIXTRON MOCVD Destekçisiyüksek sıcaklıklara ve aşındırıcı gazlara da dayanabilir.

Temel fiziksel özellikleriSIC KAPLAMA:

Vetek Yarıiletken gofret tekne dükkanları:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: