Aixtron uydu gofret taşıyıcısı

Aixtron uydu gofret taşıyıcı, epitaksiyal büyüme için gofret taşımak için kullanılan Aixtron MOCVD ekipmanının ayrılmaz bir parçasıdır. Özellikle uygundurepitaksiyal büyümeGan ve silikon karbür (sic) cihazlarının işlemi. Eşsiz "uydu" tasarımı sadece gaz akışının tekdüzeliğini sağlamakla kalmaz, aynı zamanda gofret yüzeyinde film birikiminin homojenliğini de artırır.

Aixtron'sgofret taşıyıcılarıgenellikle yapılırSilikon Karbür (sic)veya CVD kaplı grafit. Bunlar arasında silikon karbür (sic) mükemmel termal iletkenliğe, yüksek sıcaklık direncine ve düşük termal genleşme katsayısına sahiptir. CVD kaplı grafit, korozyon direncini ve mekanik mukavemetini arttırabilen bir kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemi ile bir silikon karbür filmi ile kaplanmış grafittir. SIC ve kaplanmış grafit malzemeleri, 1.400 ° C - 1,600 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir ve epitaksiyal büyüme işlemi için kritik olan yüksek sıcaklıklarda mükemmel termal stabiliteye sahip olabilir.

Aixtron uydu gofret taşıyıcısı esas olarak gofretleri taşımak ve döndürmek için kullanılır.MOCVD işlemiEpitaksiyal büyüme sırasında düzgün gaz akışı ve düzgün birikim sağlamak için.Belirli işlevler aşağıdaki gibidir:

● Gofret rotasyonu ve tek tip birikimi: Aixtron uydu taşıyıcısının dönüşü yoluyla, gofret epitaksiyal büyüme sırasında kararlı hareketi koruyabilir ve malzemelerin muntazam birikmesini sağlamak için gazın gofret yüzeyinden eşit olarak akmasına izin verebilir.

● Yüksek sıcaklıkta yatma ve stabilite: Silikon karbür veya kaplanmış grafit malzemeler 1.400 ° C - 1,600 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir. Bu özellik, gofretin yüksek sıcaklık epitaksiyal büyümesi sırasında deforme olmamasını sağlarken, taşıyıcının termal genişlemesinin epitaksiyal süreci etkilemesini önler.

● Parçacık üretimi azaltılmış: Yüksek kaliteli taşıyıcı malzemeler (sic gibi) buhar birikimi sırasında parçacık oluşumunu azaltan pürüzsüz yüzeylere sahiptir, böylece yüksek saflıkta, yüksek kaliteli yarı iletken malzemeler üretmek için kritik olan kontaminasyon olasılığını en aza indirir.

Veteksemicon’un Aixtron uydu gofret taşıyıcısı 100mm, 150mm, 200mm ve daha büyük gofret boyutlarında mevcuttur ve ekipman ve işlem gereksinimlerinize göre özelleştirilmiş ürün hizmetleri sağlayabilir. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.

CVD sic film kristal yapısının SEM verileri：

Aixtron uydu gofret taşıyıcı üretim mağazaları: