CMP Parlatma Bulamacı

Veteksemicon'un CMP parlatma bulamacı esas olarak, yarı iletken malzemelerin düzlemselleştirilmesi için CMP kimyasal mekanik parlatma bulamacında bir parlatma aşındırıcısı olarak kullanılır. Aşağıdaki avantajlara sahiptir:

Ultra Yüksek Saflıkta Seri Ürünler için Performans Göstergeleri

Yüksek Saflıkta Seri Ürünler için Performans Özellikleri

Parametre	Birim	Yüksek Saflıkta Seri Ürünler için Performans Özellikleri
		WGXY-1Z	WGXY-2Z	WGXY-3Z	WGXY-4Z	WGXY-5Z	WGXY-6Z	WGXY-7Z
Ortalama Silika Parçacık Boyutu	nm	35±5	45±5	65±5	75±5	85±5	100±5	120±5
Nanopartikül Boyut Dağılımı (PDI)	1	<0,15	<0,15	<0,15	<0,15	<0,15	<0,15	<0,15
Çözelti pH'ı	1	90,5±0,2	9,5±0,2	9,5±0,2	9,5±0,2	9,5±0,2	9,5±0,2	9,5±0,2
Katı İçerik	%	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40
Dış görünüş	--	Açık Mavi	Mavi	Beyaz	Beyaz kapalı	Beyaz kapalı	Beyaz kapalı	Beyaz kapalı
Parçacık Morfolojisi X	X: S- küresel; B- Kavisli; P- Yer fıstığı şeklinde; T- Soğanlı; C- Zincir benzeri (toplanmış durum)
Stabilize Edici İyonlar	M:Organik amin;K:Potasyum hidroksit;N:Sodyum hidroksit;veya diğer bileşenler
Metal Safsızlığı İçeriği	Z:Yüksek Saflıkta Seri (H Serisi≤1ppm;L Serisi≤10ppm);Standart Seri (M Serisi ≤300ppm)

CMP Parlatma Bulamacı Ürün Uygulamaları:

● Entegre devre ILD malzemeleri CMP

● Entegre devre Poly-Si malzemeleri CMP

● Yarı iletken tek kristal silikon levha malzemeleri CMP

● Yarı iletken silisyum karbür malzemeler CMP

● Entegre devre STI malzemeleri CMP

● Entegre devre metali ve metal bariyer katmanı malzemeleri CMP