CVD SiC Kaplama Grafit Parça Temizleme Hizmeti

1. Karşılaşabileceğiniz Zorluklar

• AlN Katmanının Kaldırılması Zor:1300°C termal temizleme hala kalan AlN katmanını etkili bir şekilde aşındıramıyor.

• Tekrarlanan Hafıza Efekti:Yüzey hafıza etkisi, reaktörde dengesiz gaz akışına neden olarak proses tutarlılığını etkiler.

• Temizleme Döngüsü ImpacVerim:Tipik olarak her 16 işlem döngüsünde (4-5 suseptör) harici temizliğe ihtiyaç vardır.

• Pahalı Kaplamaya Zarar Verme Endişesi:Şirket içi kimyasal temizlik deneyiminin olmayışı, operatörlerin agresif temizlik girişiminde bulunmaktan çekinmesine neden oluyor.

2. Çözümümüz – GaN / AlN / AlGaN Prosesleri için Tasarlandı

• Profesyonel Temizlik:CVD SiC kaplı grafit parçalar için özel olarak geliştirilmiş özel proses. Müşteriden herhangi bir kimyasal formül talep edilmez.

• Kaplama Güvenliği:100 µm CVD SiC kaplamayı kesinlikle korur. Temizleme sonrasında mutlak sıfır kalınlık kaybı.

• Doğrulanabilir Sonuçlar:Beş temel boyutu kapsayan Tam Analiz Sertifikası (COA). Veriler arşiv ve kalite denetimine hazır.

3. Beş Temel Kabul Kriteri

Yarı iletken epitaksi kullanıcılarının kritik gereksinimleriyle tam olarak uyumludur:

1. Sıfır Kaplama Kaybı– SiC kaplama kalınlığı temizlikten sonra asla azalmaz (ön/son kalınlık karşılaştırma doğrulaması).

2. Yüzey Deformasyonu Yok– Düzlük ve geometrik doğruluk, fiziksel deformasyon olmamasını sağlamak için sıkı bir şekilde denetlenir.

3. Hafıza Etkisini Ortadan Kaldırın– Al/Ga kalıntısı için XPS analizi, hafıza etkisi kaynaklarının tamamen kaldırıldığını doğrular.

4. Sıfır Metal Kalıntısı– Fe, Cu, Ni ve diğer metallere yönelik ICP-MS testi, sıfır kalıntı metalik yabancı maddeyi doğrular.

5. Fazla Parçacık Yok– QIII parçacık testi ve temizlik doğrulaması, artık parçacıkların neden olduğu gaz akışı istikrarsızlığını önler.

4. Teslimat Denetimi ve COA Raporu

Her parti beş temel boyutta tam doğrulama verileriyle birlikte teslim edilir:

5. Geçerli Ürünler ve Süreç Arka Planı

Ürün Parametreleri

Hizmet Süreci

1. Soruşturma– Değerlendirme için parça fotoğraflarını / modelini / miktarını gönderin.

2. Teklif– Fiyat teklifiyle birlikte teknik değerlendirme ve detaylı temizlik teklifi.

3. Nakliye– Parçaları bize gönderin veya teslim alma hizmeti ayarlayın.

4. Temizleme– Profesyonel temizlik + tam çok boyutlu inceleme.

5. Rapor– COA raporu düzenlendi ve temizlenen parçalar iade edildi.

6. Takip– Etki takibi ve sürekli teknik destek.

6. Neden VETEK Temizlik Hizmetini Seçmelisiniz?

VETEK, CVD SiC kaplama teknolojisindeki derin uzmanlığı, yüksek değerli grafit tutuculara yönelik özel temizleme yetenekleriyle birleştirir. GaN/AlN epitaksisinde kaplama bütünlüğünün, parçacık kontrolünün ve proses saflığının kritik önemini anlıyoruz. Hizmetimiz, pahalı CVD SiC kaplamalar için mutlak güvenliğe ihtiyaç duyan ve aynı zamanda hafıza etkisi ve gaz akışı dengesizliği sorunlarını tamamen çözen müşteriler için tasarlanmıştır.

· Küçük parti doğrulaması için deneme temizliği mevcuttur

· Her teslimatta tam COA raporu sağlanır

· Sıfır kaplama hasarı veya yeni kirlenme riski

· Profesyonel · Güvenli · Doğrulanabilir