CVD SIC Kaplama Koruyucusu

Ürün Konumlandırma ve Çekirdek Fonksiyonlar ：

CVD SIC kaplama koruyucusu, LPE silikon karbür epitaksiyal ekipmanında, esas olarak reaksiyon odasının iç yapısını korumak ve işlem stabilitesini iyileştirmek için kullanılan önemli bir bileşendir. Temel işlevleri şunları içerir:

Korozyon Koruması: Kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemi ile oluşturulan silikon karbür kaplaması, klor/flor plazmasının kimyasal korozyonuna direnebilir ve dağlama ekipmanı gibi sert ortamlar için uygundur;

Termal Yönetim: Silikon karbür malzemesinin yüksek termal iletkenliği, reaksiyon odasındaki sıcaklık homojenliğini optimize edebilir ve epitaksiyal tabakanın kalitesini artırabilir;

Kirliliğin Azaltılması: Bir astar bileşeni olarak, reaksiyon yan ürünlerinin doğrudan odaya temas etmesini ve ekipman bakım döngüsünü uzatmasını önleyebilir.

Teknik Özellikler ve Tasarım ：

Yapısal Tasarım:

Genellikle halka şeklindeki bir koruyucu yapı oluşturmak için tepsi etrafına simetrik olarak monte edilmiş üst ve alt yarım ay parçalarına bölünmüş;

Hava akışı dağılımını ve plazma odaklama etkilerini optimize etmek için tepsiler ve gaz duş başlıkları gibi bileşenlerle işbirliği.

Kaplama işlemi:

CVD yöntemi, ±% 5 içinde film kalınlığının tekdüzeliği ve Ra≤0.5μm kadar düşük bir yüzey pürüzlülüğü ile yüksek saflıkta SIC kaplamaları biriktirmek için kullanılır;

Tipik kaplama kalınlığı 100-300μm'dir ve 1600 ℃ yüksek sıcaklık ortamına dayanabilir.

Uygulama senaryoları ve performans avantajları ：

Uygulanabilir Ekipman:

Esas olarak LPE'nin SIC homoepitaksiyal büyümesini destekleyen 6 inç 8 inçlik silikon karbür epitaksiyal fırını için kullanılır;

Yoklama ekipmanı, MOCVD ekipmanı ve yüksek korozyon direnci gerektiren diğer senaryolar için uygundur.

Temel Göstergeler:

Termal Genişleme Katsayısı: 4.5 × 10⁻⁶/K (termal stresi azaltmak için grafit substratla eşleşiyor);

Direnç: 0.1-10Ω · cm (iletkenlik gereksinimlerini karşılamak);

Servis ömrü: Geleneksel kuvars/silikon malzemelerden 3-5 kat daha uzun.

Teknik engeller ve zorluklar

Bu ürünün, kaplama homojenlik kontrolü (kenar kalınlığı telafisi gibi) ve substrat kaplama arayüz bağlama optimizasyonu (≥30MPA) gibi işlem zorluklarının üstesinden gelmesi gerekir ve aynı zamanda LPE ekipmanının yüksek hızlı rotasyona (1000RPM) ve sıcaklık gradyan gereksinimlerine uyması gerekir.