CVD TAC kaplama

CVD TaC Kaplama (kimyasal buhar biriktirme tantal karbür kaplama), esas olarak tantal karbürden (TaC) oluşan bir kaplama ürünüdür. TaC kaplamanın son derece yüksek sertliği, aşınma direnci ve yüksek sıcaklık direnci vardır; bu da onu temel ekipman bileşenlerini korumak ve proses güvenilirliğini artırmak için ideal bir seçim haline getirir. Yarı iletken işlemede vazgeçilmez bir malzemedir.

CVD TAC kaplama ürünleri genellikle reaksiyon odalarında, gofret taşıyıcılarında ve dağlama ekipmanlarında kullanılır ve bunlarda aşağıdaki önemli rolleri oynar.

CVD TaC kaplama genellikle alt tabakalar, duvar panelleri ve ısıtma elemanları gibi reaksiyon odalarının dahili bileşenleri için kullanılır. Mükemmel yüksek sıcaklık direnciyle birlikte, yüksek sıcaklığın, aşındırıcı gazların ve plazmanın erozyonuna etkili bir şekilde direnebilir, böylece ekipmanın hizmet ömrünü etkin bir şekilde uzatabilir ve sürecin stabilitesini ve ürün üretiminin saflığını sağlayabilir.

Ek olarak, TaC kaplı levha taşıyıcıları (kuvars tekneler, armatürler vb. gibi) aynı zamanda mükemmel ısı direncine ve kimyasal korozyon direncine sahiptir. Plaka taşıyıcısı, yüksek sıcaklıklarda plaka için güvenilir destek sağlayabilir, plakanın kirlenmesini ve deformasyonunu önleyebilir ve böylece genel talaş verimini artırabilir.

Ayrıca, Vetek Semiconductor'ın TAC kaplaması, plazma aşındırıcıları, kimyasal buhar biriktirme sistemleri vb. Gibi çeşitli aşındırma ve ince film biriktirme ekipmanlarında da yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu işleme sistemlerinde, CVD TAC kaplama yüksek enerjili iyon bombardımanına ve güçlü kimyasal reaksiyonlara dayanabilir. böylece sürecin doğruluğunu ve tekrarlanabilirliğini sağlar.

Özel gereksinimleriniz ne olursa olsun, CVD TAC kaplama ihtiyaçlarınız için en iyi çözümü eşleştireceğiz ve istediğiniz zaman danışmanlığınızı dört gözle bekleyeceğiz.

Vetek Semiconductor CVD TAC Kaplama Ürünleri Mağazaları:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: