Dağlama için odak yüzüğü

Monokristalin silikon aşındırma halkaları, plazma ortam stabilitesini koruyarak, ekipmanı ve gofretleri koruyarak, kaynak kullanımını optimize ederek ve gelişmiş işlem gereksinimlerine uyum sağlayarak yarı iletken aşındırma işlemlerinde temel bileşenlerdir. Performansı doğrudan çip üretiminin verimini ve maliyetini etkiler.

Kazınmış odak halka, elektrot vb. (Kenar sıcaklık kontrolörü), plazma homojenliğini, sıcaklık kontrolünü ve proses tekrarlanabilirliğini sağlamak için temel sarf malzemeleridir. Bu bileşenler tam olarak CVD, aşındırma ve film ekipmanlarının vakum odasında monte edilir ve aşındırmanın doğruluğunu ve verimini gofretin kenarından merkezine doğru belirler.

Üst düzey üretim süreçlerinde malzeme özelliklerine olan katı talebe yanıt olarak, Veteksemi, odaklama halkaları üretmek ve sarf malzemelerini desteklemek için 10-20Ω · cm dirençli yüksek saflıkta monokristalin silikon kullanarak yenilikler. Malzeme bilimi, elektrik tasarımı ve termodinamiğin işbirlikçi optimizasyonu yoluyla Veteksemi, odaklama halkaları üretebilir ve sarf malzemelerini destekleyebilir. Uzun ömür, doğruluk ve maliyet etkinliğinde atılım iyileştirmeleri elde etmek için geleneksel kuvars çözümlerini kapsamlı bir şekilde aşmaktadır.

Çekirdek Malzeme Karşılaştırma ve Direnç Optimizasyonu

Monokristalin Silikon Vs. Kuvars

Ürün çekirdeği avantajıe

1. atom seviyesi süreç doğruluğu

Direnç optimizasyonu + ultra hassas parlatma (RA <0.1μm), yarı F47 standartlarını karşılamak için mikro-deşarj ve partikül kontaminasyonunu ortadan kaldırır.

Dielektrik kaybı (tany <0.001), gofret dielektrik ortamıyla yüksek oranda eşleşir, kenar elektrik alanı bozulmasından kaçınır ve 3D NAND 89.5 ° ± 0.3 ° dikey derin delik dağlamasını destekler.

2. Akıllı sistem uyumluluğu

ETT kenar sıcaklık kontrol modülü ile entegre olan soğutma hava akışı, oda termal sürüklenmesini telafi etmek için termokupl ve AI algoritması tarafından dinamik olarak ayarlanır.

Amat Centura, Lam Research Kiyo ve ICP/CCP plazma kaynakları gibi ana akım makineler için uygun özelleştirilmiş RF eşleştirme ağını destekleyin.

3. Kapsamlı maliyet etkinliği

Monokristalin silikonun ömrü kuvarsdan% 275 daha uzun, bakım döngüsü 3.000 saatten fazla ve kapsamlı sahiplik maliyeti (TCO)% 30 azalıyor.

Direnç Gradyan Özelleştirme Hizmeti (5-100Ω · cm), Müşteri İşlem Penceresi (GAN/SIC geniş bant boşluğu malzemesi dağlama gibi) tam olarak eşleşen.

Dirençliliğin etkisi

Ürün Ticari Şartları

Asgari sipariş miktarı	1 set
Fiyat	Özelleştirilmiş alıntı için iletişim
Ambalaj detayları	Standart İhracat Paketi
Teslimat süresi	Teslimat Süresi: Sipariş onayından 30-35 gün sonra
Ödeme şartları	T/T
Tedarik Yeteneği	600 set/ay