Yüksek Saflık Kuvars Peksi

Veteksemicon platformu tarafından sağlanan yüksek saflık kuvars potası, ultra yüksek saflıkta sentetik kaynaşmış kuvarsdan yapılmıştır. Seçilen kuvars hammaddelerindeki SIO2 içeriği genellikle% 99.998'e veya daha da yüksekliğe ulaşabilir (4N8). Gelişmiş eritme ve kalıplama işlemleri yoluyla, safsızlık içeriği, özellikle yarı iletken işlemlere zararlı olan metal iyonları (Na, K, Li, Fe, AL, CA, vb.) Ve yarı iletken işlemlerine zararlı olan hidroksil içeriği en aza indirilir.

Bu kuvars pota, düşük kontaminasyon, yüksek mukavemet ve kristal büyüme ve gofret işleme ile iyi uyumluluk sağlamak için yüksek sıcaklık ortamlarında çalışma için tasarlanmıştır.

Ⅰ. Yarıiletken üretim süreçlerinde ana uygulamalar

Yüksek saflıkta kuvars holdetleri, benzersiz fiziksel özellikleri ile birçok önemli yarı iletken üretim sürecinde hayati bir rol oynar:

1. Tek kristal silikon büyümesi (Czochralski işlemi - CZ)

Kullanmak: Czochralski yöntemi ile tek kristal silikon büyümesi sürecinde, yüksek saflıkta kuvars haçlı erimiş silikon için ana kaplardır. Silikon çubukların kalitesi ve saflığı, pota malzemesinden doğrudan etkilenir.

Mükemmel fiziksel özellikler:

● Ultra yüksek saflık: Yüksek saflıkta kuvars malzemeden yapılmış, son derece düşük safsızlık yağışları sağlar ve yüksek entegre ve yüksek performanslı yarı iletken cihazların üretimi için çok önemli olan tek kristal silikonun kontaminasyonunu önler. Alkali metalleri ve ağır metaller gibi safsızlıklar, cihazın elektriksel özelliklerini ciddi şekilde etkileyen taşıyıcı tuzaklar veya saçılma merkezleri olabilir.

● Mükemmel yüksek sıcaklık direnci: Kuvars malzemesi yüksek bir erime noktasına (yaklaşık 1700 ∘C) sahiptir, son derece yüksek erimiş silikon sıcaklığına (yaklaşık 1420 ∘C) dayanabilir ve deformasyon veya yumuşatmadan uzun süre istikrarlı bir şekilde çalışabilir.

● İyi termal stabilite: Yüksek sıcaklıklarda, termal genleşme katsayısı son derece düşüktür, bu da termal strese etkili bir şekilde direnebilir ve ısıtma ve soğutma sırasında çatlamayı önleyebilir, böylece işlemin stabilitesini ve güvenliğini sağlayabilir.

● Kimyasal inertlik: erimiş silikon için iyi kimyasal etkisizliğe sahiptir, silikon ile reaksiyona girmesi kolay değildir, safsızlıkların ve silikonun karbonizasyonunu azaltır ve silikon kristallerinin saflığını sağlar.

2. Polikristalin Silikon Ingot Döküm

Başvuru: Polikristalin silikon ingot döküm işleminde, fotovoltaik veya elektronik dereceli polikristal silikon ingotları dökmek için erimiş polikristalin silikon için konteyner olarak yüksek saflıkta kuvars haçlar kullanılır.

Mükemmel fiziksel özellikler:

● Termal şok direnci: Ani sıcaklık değişimlerinin neden olduğu çatlamayı önlemek için hızlı ısıtma ve soğutma döngülerinde bile yapısal bütünlüğü koruyabilir.

● Boyutsal stabilite: Spesifikasyon gereksinimlerini karşılayan polikristalin silikon ingotların dökülmesi için doğru boyutsal kontrol ve şekil stabilitesi gereklidir.

3. Diğer yüksek sıcaklık uygulamaları

Kullanma: Yarıiletken üretiminde, difüzyon, oksidasyon, tavlama vb. Gibi birçok yüksek sıcaklıkta fırın tüpü işlemleri, işlem ortamını temiz ve sabit tutmak için genellikle kuvars kapları astar veya taşıyıcılar olarak kullanır.

Ⅱ. Veteksemicon'un yüksek saflıkta kuvars potasının avantajları

Veteksemicon, yarı iletken endüstrisi için yüksek kaliteli, yüksek performanslı ürünler sağlamaya kararlıdır. Yüksek saflıkta kuvars haçlarımızın aşağıdaki avantajları vardır:

● Ultra yüksek saflık garantisi: Ürünün yarı iletken sınıfı ultra yüksek saflığa ulaşmasını sağlamak ve işlem kontaminasyonu riskini en aza indirmek için hammaddelerin ve üretim süreçlerinin sıkı kontrolü.

● Mükemmel dayanıklılık: Mükemmel termal stabilite ve mekanik mukavemet, ürün ömrünü uzatma ve üretim maliyetlerini azaltma.

● Özelleştirilmiş hizmet: Farklı boyutlar, şekiller ve özelliklerdeki özelleştirilmiş pota çözümleri, özel süreç ihtiyaçlarınıza göre sağlanabilir.

Veteksemicon ürünleri deposu