Katı silikon karbür kullanımı

Katı silikon karbür sic, silikon (SI) ve karbondan (c) oluşan gelişmiş bir seramik malzemedir. Doğada yaygın olarak bulunan bir madde değildir ve genellikle yüksek sıcaklık sentezi gerektirir. Fiziksel ve kimyasal özelliklerin eşsiz kombinasyonu, onu özellikle yarı iletken üretiminde, aşırı ortamlarda iyi performans gösteren önemli bir malzeme haline getirir.

Ⅰ. Katı silikon karbürün temel fiziksel özellikleri (katı sic)

▶ Yüksek sertlik ve aşınma direnci:

SIC'nin MOHS sertliği yaklaşık 9-9.5, sadece Diamond'dan ikinci. Bu ona mükemmel çizik ve aşınma direnci sağlar ve mekanik strese veya parçacık erozyonuna dayanması gereken ortamlarda iyi performans gösterir.

▶ Mükemmel yüksek sıcaklık mukavemeti ve istikrarı

1.

2. Termal genleşme katsayısı, iyi boyutsal stabiliteye sahip olduğu ve sıcaklık büyük ölçüde değiştiğinde deformasyona veya çatlamaya eğilimli olmadığı anlamına gelir.

▶ Yüksek termal iletkenlik:

Diğer birçok seramik malzemenin aksine, SIC nispeten yüksek bir termal iletkenliğe sahiptir. Bu, hassas sıcaklık kontrolü ve homojenlik gerektiren uygulamalar için kritik olan ısıyı verimli bir şekilde yürütmesine ve dağıtmasına izin verir.

Üstün kimyasal inertlik ve korozyon direnci:

SIC, yüksek sıcaklıklarda bile yarı iletken işlemlerde (plazma ortamlarında flor bazlı ve klor bazlı gazlar gibi) yaygın olarak kullanılan en güçlü asitlere, güçlü bazlara ve aşındırıcı gazlara karşı son derece güçlü bir direnç sergiler. Bu, işlem odası bileşenlerinin aşındırılmasını veya kirlenmesini önlemek için kritiktir.

▶ Yüksek saflık potansiyeli:

Son derece yüksek saflıkta SIC kaplamaları veya katı siC parçaları, belirli üretim süreçleri (kimyasal buhar birikimi - CVD gibi) yoluyla üretilebilir. Yarı iletken üretiminde, malzeme saflığı, gofretin kontaminasyon seviyesini ve nihai ürünün verimini doğrudan etkiler.

▶ Yüksek sertlik (Young modülü):

SIC, yüksek bir Young modülüne sahiptir, yani çok zor ve yük altında deforme olması kolay değildir. Bu, hassas şekli ve boyutu (gofret taşıyıcıları gibi) koruması gereken bileşenler için çok önemlidir.

▶ Ayarlanabilir Elektrik Özellikleri:

Genellikle bir izolatör veya yarı iletken olarak kullanılmasına rağmen (kristal formuna ve dopingine bağlı olarak), yüksek direnci plazma davranışını yönetmeye veya bazı bileşen uygulamalarında gereksiz ark akıntısını önlemeye yardımcı olur.

Ⅱ. Yarıiletken üretiminde katı silikon karbür (katı sic) bitmiş ürünlerin özel uygulamaları ve avantajları

Yukarıdaki fiziksel özelliklere dayanarak, katı SIC çeşitli hassas bileşenler halinde üretilir ve yarı iletken ön uç işlemlerinin birden fazla anahtar bağlantısında yaygın olarak kullanılır.

1) Katı sic gofret taşıyıcı (katı sic gofret taşıyıcı / tekne):

Başvuru:

Silikon gofretleri yüksek sıcaklık işlemlerinde (difüzyon, oksidasyon, LPCVD-düşük basınçlı kimyasal buhar birikimi gibi) taşımak ve aktarmak için kullanılır.

Avantajlar Analizi:

1. Yüksek sıcaklık stabilitesi: 1000 ° C'yi aşan işlem sıcaklıklarında, SIC taşıyıcıları kuvars kadar kolay bir şekilde yumuşamayacak, deforme olmayacak veya sarkmayacak ve işlem homojenliğini sağlamak için gofret aralığını doğru bir şekilde koruyacak.

2. Uzun Yaşam ve Düşük Parçacık Üretimi: SIC'nin sertliği ve aşınma direnci kuvarsı çok aşar ve gofretleri kirletmek için küçük parçacıklar üretmek kolay değildir. Servis ömrü genellikle birkaç kez hatta kuvars taşıyıcılarının düzinelerce katıdır, bu da yedek frekansını ve bakım maliyetlerini azaltır.

3. Kimyasal inertlik: Proses atmosferinde kimyasal erozyona dayanabilir ve kendi malzemelerinin çökelmesinin neden olduğu gofretin kontaminasyonunu azaltabilir.

4. Termal iletkenlik: İyi termal iletkenlik, taşıyıcıların ve gofretlerin hızlı ve düzgün ısıtılması ve soğutulmasına yardımcı olur, işlem verimliliğini ve sıcaklık homojenliğini artırır.

5. Yüksek Saflık: Yüksek saflıkta SIC taşıyıcıları, safsızlık kontrolü için gelişmiş düğümlerin katı gereksinimlerini karşılamak için üretilebilir.

Kullanıcı Değeri:

Süreç kararlılığını artırın, ürün verimini artırın, bileşen arızası veya kontaminasyonun neden olduğu kesinti süresini azaltın ve uzun vadede genel sahiplik maliyetini azaltın.

2) Katı SIC disk şeklindeki / gaz duş başlığı:

Başvuru:

Plazma aşınması, kimyasal buhar birikimi (CVD), atomik tabaka birikimi (ALD) vb.

Avantaj Analizi:

1. Plazma Toleransı: Yüksek enerjili, kimyasal olarak aktif bir plazma ortamında, SIC duş başlığı, kuvars veya alüminadan çok daha üstün olan plazma bombardımanına ve kimyasal korozyona karşı son derece güçlü bir direnç gösterir.

2. Tekdüzelik ve stabilite: Hassas işlenmiş SIC duş başlığı, gaz akışının tüm gofret yüzeyine eşit olarak dağıtılmasını sağlayabilir, bu da film kalınlığı, kompozisyon homojenliği veya dağlama oranının homojenliği için kritiktir. İyi uzun süreli stabiliteye sahiptir ve deforme olması veya tıkanması kolay değildir.

3. Termal Yönetim: İyi termal iletkenlik, duş başlığı yüzeyinde sıcaklık homojenliğini korumaya yardımcı olur, bu da ısıya duyarlı biriktirme veya dağlama işlemleri için kritiktir.

4. Düşük kontaminasyon: Yüksek saflık ve kimyasal inertlik, duş başlığının kendi malzemelerinin sürece kontaminasyonunu azaltır.

Kullanıcı Değeri:

Proses sonuçlarının tekdüzeliğini ve tekrarlanabilirliğini önemli ölçüde artırın, duş başlığının servis ömrünü uzatın, bakım sürelerini ve parçacık sorunlarını azaltın ve daha gelişmiş ve daha katı işlem koşullarını destekleyin.

3) Katı sic gravür odaklama halkası (katı sic gravür odaklama / kenar halkası):

Başvuru:

Esas olarak plazma aşındırma ekipmanı odasında (kapasitif olarak bağlanmış plazma CCP veya endüktif olarak bağlanmış plazma ICP etcher gibi), genellikle gofret taşıyıcının (chuck) kenarına yerleştirilir. İşlevi, plazmayı, odanın diğer bileşenlerini korurken gofret yüzeyinde daha eşit bir şekilde hareket edecek şekilde kısıtlamak ve yönlendirmektir.

Avantaj Analizi:

1. Plazma erozyonuna karşı güçlü bir direnç: Bu, SIC odaklama halkasının en belirgin avantajıdır. Son derece agresif dağlama plazmalarında (flor veya klor içeren kimyasallar gibi), SiC kuvars, alümina ve hatta yttria'dan (yttrium oksit) çok daha yavaş giyer ve son derece uzun bir ömrü vardır.

2. Kritik boyutların korunması: Yüksek sertlik ve yüksek sertlik, SIC odaklama halkalarının, plazma morfolojisini stabilize etmek ve aşındırma homojenliğini sağlamak için kritik olan uzun kullanım dönemlerinde hassas şekillerini ve boyutlarını daha iyi korumalarına izin verir.

3. Düşük parçacık üretimi: Aşınma direncinden dolayı, bileşen yaşlanmasıyla üretilen parçacıkları büyük ölçüde azaltır ve böylece verimi artırır.

4. Yüksek Saflık: Metal veya diğer safsızlıkların tanıtımından kaçının.

Kullanıcı Değeri:

Bileşen değiştirme döngülerini büyük ölçüde genişletin, bakım maliyetlerini ve ekipman kesinti süresini önemli ölçüde azaltır; dağlama işlemlerinin istikrarını ve tekrarlanabilirliğini artırmak; Kusurları azaltın ve üst düzey çip üretiminin verimini artırın.

Ⅲ.Özet

Katı silikon karbür, yüksek sertlik, yüksek erime noktası, yüksek termal iletkenlik, mükemmel kimyasal stabilite ve korozyon direnci - benzersiz fiziksel özellik kombinasyonu nedeniyle modern yarı iletken üretiminde vazgeçilmez anahtar malzemelerden biri haline gelmiştir. İster gofret taşımak için bir taşıyıcı, gaz dağılımını kontrol etmek için bir duş başlığı veya plazma yönlendirme için bir odaklama halkası olsun, katı SIC ürünleri, yonga üreticilerinin mükemmel performansları ve güvenilirlikleri ile giderek daha katı süreç zorluklarıyla başa çıkmalarına yardımcı olur, üretim verimliliğini ve ürün verimini artırmak ve böylece tüm yarı iletken endüstrisinin sürdürülebilir gelişimini teşvik eder.

Çin'de katı silikon karbür ürünlerinin önde gelen üreticisi ve tedarikçisi olarak,Yarımgibi ürünlerKatı sic gofret taşıyıcı / tekne, Katı SIC disk şeklindeki / gaz duş başlığı, Katı sic gravür odaklama halkası / kenar halkasıAvrupa ve Amerika Birleşik Devletleri'nde yaygın olarak satılmaktadır ve bu müşterilerden yüksek övgü ve tanınma kazanmıştır. Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle bekliyoruz. Danışmaya hoş geldiniz.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

E -posta: Anny@veteksemi.com