Yüksek Saflıkta Kuvars Gofret Teknesi

VeTek Semiconductor'ın Yüksek Saflıkta Kuvars Gofret Teknesi, düşük hidroksil içeriği, yüksek saflık ve güçlü yüksek sıcaklık direnci özelliklerine sahip ultra yüksek saflıkta kuvarstan yapılmıştır. Bu malzeme aynı zamanda yarı iletken endüstrisinde difüzyon fırınları ve CVD fırın bileşenleri için bir malzeme olarak da yaygın olarak kullanılmaktadır. Silikon levhaları taşımak için bir kap olarak, Yüksek saflıkta Kuvars tekne levhası yarı iletken, fotovoltaik, kimyasal ve diğer alanlarda kullanılmaktadır.

Uygulama senaryoları

Birincisi yarı iletken alanıdır. Termal oksidasyon, difüzyon, tavlama vb. Dahil gofretlerin ısıl işlem süreci çok önemlidir. Isı işlem süreci boyunca, gofretlere yeni özellikler veriyoruz.

Parti fırın çekirdek tüpleri, termal oksidasyon, yüksek sıcaklık difüzyonu, tavlama ve ince film birikimi gibi yarı iletken gofret işleme işlemleri için kullanılır. Toplu ısıtma fırını esas olarak ısıl işlemi tamamlamak için fırın gövdesini bobinlerle ısıtmak için kullanılır. Farklı çalışma yapılarına göre, toplu fırın çekirdek tüpleri yatay fırınlara ve dikey fırınlara bölünebilir:

(1) Yatay fırının yüksek saflıkta kuvars gofret teknesi yatay olarak yerleştirilir, bu nedenle yatay fırın denir.

Isıl işlem sürecinde gofret, yüksek saflıkta kuvars gofret teknesine yüklenir, yavaşça kuvars fırın tüpüne gönderilir ve gofret işleme için sabit bir sıcaklık bölgesine yerleştirilir. İşlemin tamamlanmasını bekledikten sonra, gofret kullanılmış kuvars teknesi, ani sıcaklık değişimleri nedeniyle gofretin hasar görmesini önlemek için yavaşça kuvars fırından çıkarılır. Yatay fırınlar, 200 mm'den daha düşük gofret çaplarına sahip entegre devrelerin difüzyon işleminde yaygın olarak kullanılmaktadır. 

Yatay fırınların avantajları basit proses, levhalar arasında iyi bir tekdüzelik ve aynı anda birden fazla levhayı işleyebilme yeteneğidir. Dezavantajları yavaş ısıtma hızı, büyük ekipman boyutu, otomasyon zorluğu ve levhaları yüklerken ve boşaltırken dış havanın kolay girişidir.

(2) Dikey fırının yüksek saflıkta kuvars gofret teknesi dikey olarak yerleştirilir, bu nedenle dikey fırın denir.

Gofret kuvars kulesine yüklenir ve ısıtma için yavaşça kuvars fırın tüpüne yükselir. Isıtma işlemi sırasında, yüksek saflıkta kuvars gofret teknesi, gofretin eşit olarak ısıtılmasını sağlamak için yavaşça dönecektir. İşlemden sonra, kuvars kulesi, gofret hasarına neden olabilecek sıcaklık değişikliklerinden kaçınmak için yavaşça inecektir. Dikey fırınlar esas olarak 200mm ve 300mm çapında gofret entegre devre işleminde kullanılır. Dikey fırınların temel teknolojisi yüksek hassasiyetli sıcaklık alanı kontrolü, parçacık kontrolü, mikro-çevre mikro oksijen kontrolü ve motorizasyonda yer almaktadır. Dikey fırınların avantajları ince doğal oksit tabakası, iyi homojenlik, daha kolay otomasyon, küçük ekipman ayak izi ve parti işlemesidir. Dezavantaj, ısıtma hızının yavaş olmasıdır.

Fotovoltaik alanda, fotovoltaik hücrelerin üretim süreci, kuvars teknelerin silikon gofretleri yüksek sıcaklık difüzyon sürecinde taşımasını ve taşımasını gerektirir. Yüksek saflıkta bir azot, oksijen veya fosfor difüzyonu veya bor difüzyonu gibi diğer inert gaz atmosferinde yüksek sıcaklık tedavisi, güneş hücrelerinin üretim sürecinde önemli bir adımdır. Amaç, silikon gofret üzerinde bir PN kavşağı oluşturmaktır.

Kuvars tekne, silikon levhanın yüksek sıcaklıktaki difüzyon işlemi sırasında tam konumunu korumasını ve eşit şekilde ısıtılmasını sağlamak için iç kısımda hassas şekilde tasarlanmış yuvalara sahiptir. Kuvars malzemesi iyi bir yüksek sıcaklık direncine ve kimyasal stabiliteye sahip olduğundan, üretim ortamının yüksek temizliğini korumaya yardımcı olan silikon levhayı kirletmeyecektir.

Çin'in gofret kullanılmış kuvars tekne pazarında bir yenilikçi ve lider olarak, yarı iletken endüstrisinde ister fotovoltaik endüstriye girmiş olun, yüksek saflıkta kuvars gofret teknesine ihtiyaç duyduğunuz sürece, lütfen bir teklif isteyin ve uyarlayabiliriz İhtiyaçlarınıza göre sizin için.

VeTek Yarı İletken Ürün Mağazaları: