CVD SIC hakkında ne kadar biliyorsunuz? - Vetek Yarıiletken

CVDsic(Kimyasal Buhar Birikimi Silikon Karbür) Kimyasal buhar birikimi ile üretilen yüksek saflıkta bir silikon karbür malzemesidir. Esas olarak yarı iletken işleme ekipmanındaki çeşitli bileşenler ve kaplamalar için kullanılır. CVDSic malzemeMükemmel termal stabilite, yüksek sertlik, düşük termal genleşme katsayısı ve mükemmel kimyasal korozyon direncine sahiptir, bu da onu aşırı işlem koşullarında kullanılmak üzere ideal bir malzeme haline getirir.

CVDSIC malzemesi, yarı iletken üretim işleminde yüksek sıcaklık, yüksek korozif ortam ve yüksek mekanik stres içeren bileşenlerde yaygın olarak kullanılmaktadır.

CVDsicBileşenleresas olarak aşağıdaki ürünler dahil

● CVDSIC kaplama

Substratın yüksek sıcaklık, kimyasal korozyon ve mekanik aşınma nedeniyle hasar görmesini önlemek için yarı iletken işleme ekipmanı için koruyucu bir tabaka olarak kullanılır.

● Sic gofret tekne

Gofretlerin stabilitesini ve süreçlerin tekdüzeliğini sağlamak için gofretleri yüksek sıcaklık süreçlerinde (difüzyon ve epitaksiyal büyüme gibi) taşımak ve taşımak için kullanılır.

● Sic proses tüpü

SIC proses tüpleri esas olarak difüzyon fırınlarında ve oksidasyon fırınlarında, silikon gofretler için kontrollü bir reaksiyon ortamı sağlamak için hassas malzeme birikimi ve düzgün doping dağılımını sağlar.

● Sic konsol kürek

SIC Konsol kürek esas olarak difüzyon fırınlarında ve oksidasyon fırınlarında silikon gofret taşımak veya desteklemek için kullanılır ve rulman rolü oynar. Özellikle difüzyon, oksidasyon, tavlama vb. Gibi yüksek sıcaklık süreçlerinde, aşırı ortamlarda silikon gofretlerin stabilitesini ve muntazam tedavisini sağlar.

● CVDsic duş başlığı

Plazma dağlama ekipmanında bir gaz dağılım bileşeni olarak kullanılır, düzgün gaz dağılımı ve dağlama etkisi sağlamak için mükemmel korozyon direnci ve termal stabilite ile kullanılır.

● SIC kaplı tavan

Ekipman reaksiyon odasındaki bileşenler, ekipmanı yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gazlarla hasardan korumak ve ekipmanın servis ömrünü uzatır.

● Silikon Epitaksi Duygular

Silikon epitaksiyal büyüme işlemlerinde kullanılan gofret taşıyıcıları, gofretlerin düzgün ısıtma ve birikme kalitesini sağlamak için.

Kimyasal buhar biriktirilen silikon karbür (CVD SIC), yarı iletken işlemede, esas olarak yüksek sıcaklıklara, korozyona ve yüksek sertliğe dirençli cihazlar ve bileşenler üretmek için kullanılan çok çeşitli uygulamalara sahiptir. 

CVDsicTemel rol aşağıdaki yönlere yansıtılır

✔ Yüksek sıcaklıklı ortamlarda koruyucu kaplamalar

İşlev: CVD SIC, genellikle yarı iletken ekipmanlarındaki anahtar bileşenlerin yüzey kaplamaları için kullanılır (ekipmanlar, reaksiyon odası astarları vb.). Bu bileşenlerin yüksek sıcaklık ortamlarında çalışması gerekir ve CVD SIC kaplamaları, substratı yüksek sıcaklık hasarından korumak için mükemmel termal stabilite sağlayabilir.

Avantajlar: Yüksek erime noktası ve CVD SIC'nin mükemmel termal iletkenliği, bileşenlerin yüksek sıcaklık koşulları altında uzun süre istikrarlı bir şekilde çalışabilmesini ve ekipmanın servis ömrünü uzatabilmesini sağlar.

✔ Korozyon karşıtı uygulamalar

İşlev: Yarı iletken üretim işleminde, CVD SIC kaplama aşındırıcı gaz ve kimyasalların erozyonuna etkili bir şekilde direnebilir ve ekipman ve cihazların bütünlüğünü koruyabilir. Bu, özellikle florür ve klorür gibi yüksek aşındırıcı gazların işlenmesi için önemlidir.

Avantajlar: Bileşenin yüzeyine CVD SIC kaplama yatırılarak, korozyonun neden olduğu ekipman hasarı ve bakım maliyetleri büyük ölçüde azaltılabilir ve üretim verimliliği artırılabilir.

✔ Yüksek mukavemet ve aşınmaya dayanıklı uygulamalar

İşlev: CVD sic malzemesi yüksek sertliği ve yüksek mekanik mukavemeti ile bilinir. Mekanik contalar, yük taşıyan bileşenler vb. Gibi aşınma direnci ve yüksek hassasiyet gerektiren yarı iletken bileşenlerde yaygın olarak kullanılır. Bu bileşenler, çalışma sırasında güçlü mekanik stres ve sürtünmeye tabi tutulur. CVD SIC bu streslere etkili bir şekilde direnebilir ve cihazın uzun ömrünü ve istikrarlı performansını sağlayabilir.

Avantajlar: CVD SIC'den yapılmış bileşenler sadece aşırı ortamlarda mekanik strese dayanmakla kalmaz, aynı zamanda uzun süreli kullanımdan sonra boyutsal stabilitelerini ve yüzey kaplamalarını da korur.

Aynı zamanda, CVD SICLED epitaksiyal büyüme, güç yarı iletkenleri ve diğer alanlar. Yarıiletken üretim sürecinde, CVD SIC substratları genellikleEpi duyucular. Mükemmel termal iletkenlik ve kimyasal stabilite, yetişkin epitaksiyal katmanların daha yüksek kaliteye ve tutarlılığa sahip olmasını sağlar. Ayrıca, CVD SIC de yaygın olarak kullanılmaktadır.PSS Draving Taşıyıcıları, RTP gofret taşıyıcıları, ICP Draving Taşıyıcıları, vb., Cihaz performansını sağlamak için yarı iletken dağlama sırasında kararlı ve güvenilir destek sağlamak.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd, yarı iletken endüstrisi için gelişmiş kaplama malzemelerinin lider sağlayıcısıdır. Şirketimiz endüstri için gelişen çözümlere odaklanıyor.

Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD silikon karbür (sic) kaplamalar, tantal karbür (TAC) kaplamalar, yığın tozları ve yüksek saflıkta sic malzemeleri, sic kaplamalı grafit sıyrığı, TAC kaplı saptırma yüzüğü, yarısı, kesme, kesme parçaları vb.

Vetek yarı iletken, yarı iletken endüstrisi için en yeni teknoloji ve ürün geliştirme çözümleri geliştirmeye odaklanmaktadır.Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.