MOCVD epitaksiyal gofret sağlar

MOCVD epitaksiyal gofret Suyu, MOCVD (metal-organik kimyasal buhar birikimi) ekipmanı için tasarlanmış yüksek performanslı bir epitaksiyal gofret sarsıntısıdır. Suyu SGL grafit malzemesinden yapılmıştır ve silikon karbür kaplama ile kaplanmıştır, bu da grafitin yüksek termal iletkenliğini SIC'nin mükemmel yüksek sıcaklık ve korozyon direnciyle birleştirir ve yarı iletkenlerin epitaksiyal büyümesi sırasında yüksek sıcaklık, yüksek basınç ve aşındırıcı gazın sert çalışma ortamı için uygundur.

SGL grafit malzemesi, epitaksiyal gofretin sıcaklığının büyüme işlemi sırasında eşit olarak dağıtılmasını ve epitaksiyal tabakanın kalitesini artırmasını sağlayan mükemmel termal iletkenliğe sahiptir. Kaplanmış SIC kaplaması, suyunun 1600'den fazla yüksek sıcaklıklara dayanmasını ve MOCVD işlemindeki aşırı termal ortama uyum sağlamasını sağlar. Ek olarak, SIC kaplama yüksek sıcaklık reaksiyon gazlarına ve kimyasal korozyona etkili bir şekilde direnebilir, duyucunun servis ömrünü uzatabilir ve kirliliği azaltabilir.

Veteksemi’nin MOCVD epitaksiyal gofret suyunu, Aixtron gibi MOCVD ekipman tedarikçilerinin aksesuarlarının yerine kullanılabilir.

● Boyut: Müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir (standart boyut mevcut).

● Taşıma kapasitesi: Bir seferde (Sensör boyutuna bağlı olarak) birden fazla veya hatta 50'den fazla epitaksiyal gofret taşıyabilir.

● Yüzey tedavisi: SIC kaplama, korozyon direnci, oksidasyon direnci.

● Yarıiletken endüstrisi: LED'ler, lazer diyotlar ve güç yarı iletkenleri gibi epitaksiyal gofretlerin büyümesi için kullanılır.

● Optoelektronik endüstrisi: Yüksek kaliteli optoelektronik cihazların epitaksiyal büyümesini destekler.

● Üst düzey maddi araştırma ve geliştirme: Yeni yarı iletkenlerin ve optoelektronik malzemelerin epitaksiyal hazırlanmasına uygulanır.

Müşterinin MOCVD ekipman tipi ve üretim ihtiyaçlarına bağlı olarak, Vetek Semiconductor, müşterilere en uygun çözümün sağlandığından emin olmak için sansya boyutu, malzeme, yüzey işlemi vb. Dahil özelleştirilmiş hizmetler sunar.

CVD sic film kristal yapısı

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

Yarıiletken MOCVD epitaksiyal gofret Sinekçileri