Hızlı Termal Tavlama Süseptör

Vetek Semiconductor hızlı termal tavlama suyunu yüksek kaliteli ve uzun ömürlü, bizi sorgulamaya hoş geldiniz.

Hızlı termal tavlama (RTA), yarı iletken cihaz imalatında kullanılan hızlı termal işlemenin önemli bir alt kümesidir. Çeşitli hedeflenen ısı işlemleri yoluyla elektriksel özelliklerini değiştirmeleri için tek tek gofretlerin ısıtılmasını içerir. RTA işlemi, katkıların aktivasyonunu, filmden filmden filmden filme-filmin substrat arayüzlerinin değiştirilmesini, yatırılan filmlerin yoğunlaşmasını, yetişkin film durumlarının değiştirilmesini, iyon implantasyon hasarının onarımı, dopant hareketi ve filmler arasında sürüşü sağlar. veya gofret alt tabakasına.

Vetek yarı iletken ürünü olan hızlı termal tavlama suyunu, RTP işleminde hayati bir rol oynar. İnert silikon karbür (sic) koruyucu bir kaplamaya sahip yüksek saflıkta grafit malzeme kullanılarak inşa edilmiştir. SIC kaplı silikon substratı, 1100 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir ve aşırı koşullar altında bile güvenilir performans sağlar. SIC kaplama, ürünün uzun ömürlülüğünü sağlayarak gaz sızıntısı ve parçacık dökülmesine karşı mükemmel koruma sağlar.

Hassas sıcaklık kontrolünü sağlamak için çip, SiC ile kaplanmış iki yüksek saflıkta grafit bileşen arasında kapsüllenir. Alt tabakayla temas halindeki entegre yüksek sıcaklık sensörleri veya termokupllar aracılığıyla doğru sıcaklık ölçümleri elde edilebilir.

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri:

VeTek Yarı İletken Üretim Mağazası:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: