CVD TAC Kaplama Nedir? - Veteksemi

Hepimizin bildiği gibi,tantal karbür (TaC)3880 ° C'ye kadar erime noktasına sahiptir, yüksek mekanik mukavemet, sertlik, termal şok direnci; Yüksek sıcaklıklarda amonyak, hidrojen, silikon içeren buhar için iyi kimyasal inertlik ve termal stabilite.

Mikroskobik bir kesitte tantal karbür kaplama

CVD TAC kaplama, kimyasal buhar birikimi (CVD)Tantal karbür (TAC) kaplama, bir alt tabaka (genellikle grafit) üzerinde yüksek yoğunluklu ve dayanıklı bir kaplama oluşturmaya yönelik bir işlemdir. Bu yöntem, TaC'nin alt tabakanın yüzeyine yüksek sıcaklıklarda biriktirilmesini içerir ve bunun sonucunda mükemmel termal stabiliteye ve kimyasal dirence sahip bir kaplama elde edilir.

CVD TAC kaplamalarının ana avantajları şunları içerir:

● Son derece yüksek termal stabilite: Tantal Karbür Kaplama 2200°C'yi aşan sıcaklıklara dayanabilir.

● Kimyasal direnç: CVD TaC kaplama, hidrojen, amonyak ve silikon buharı gibi sert kimyasallara etkili bir şekilde direnç gösterebilir.

● Güçlü yapışma: TAC kaplama, delaminasyon olmadan uzun süreli koruma sağlar.

●  Yüksek saflık: yabancı maddeleri en aza indirerek yarı iletken uygulamalar için idealdir.

Bu kaplamalar, yarı iletken üretimi ve yüksek sıcaklık endüstriyel süreçler gibi aşırı dayanıklılık ve aşırı koşullara direnç gerektiren ortamlar için özellikle uygundur.

Endüstriyel üretimde grafit (karbon-karbon kompoziti) TAC kaplama ile kaplanmış malzemelerin geleneksel yüksek saflıkta grafit, PBN kaplama, SIC kaplama parçaları, vb. Yerini alması muhtemeldir. Ayrıca, havacılık alanında TAC, yüksek sıcaklık anti-oksidasyonu olarak kullanılmak üzere büyük bir potansiyele sahiptir. ve anti-ablasyon kaplaması ve geniş uygulama beklentileri vardır. Bununla birlikte, grafit yüzeyinde yoğun, tek tip, muntazam olmayan TAC kaplamasının hazırlanmasını sağlamak ve endüstriyel kütle üretimini teşvik etmek için hala birçok zorluk vardır.

Bu süreçte, kaplamanın koruma mekanizmasını araştırmak, üretim sürecini yenilemek ve üst düzey yabancı seviyeyle rekabet etmek üçüncü nesil için çok önemlidir.Yarıiletken kristal büyümesi ve epitaksi.

Vetek Semiconductor profesyonel bir Çinli Çinli bir CVD Tantalum karbür kaplama ürünleri üreticisidir ve TAC kaplama saflığımız 5ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir. Veteksemi ana CVD TAC kaplı ürünler CVD TaC Kaplama Potası, CVD TAC kaplama gofret taşıyıcı, CVD TaC Kaplama Taşıyıcı, CVD TAC kaplama kapağı,  CVD TaC Kaplama Halkası. VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisine yönelik çeşitli Kaplama ürünlerine yönelik gelişmiş çözümler sunmaya kendini adamıştır. VeTek Semiconductor, Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyor.

Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

E -posta: Anny@veteksemi.com