Sic konsol kürekleri

Ⅰ. Ürün kullanımına genel bakış

SIC konsol kürekleri esas olarak yarı iletken üretim ekipmanlarında gofret destek ve şanzıman bileşenleri olarak kullanılır. Çekirdek işlevi, yüksek sıcaklık ve yüksek korozyon gibi aşırı işlem koşulları altında silikon gofretleri stabil ve doğru bir şekilde işlemektir ve pürüzsüz ve verimli bir üretim süreci sağlar.

Ⅱ. Sic malzemelerinin kayıtları ve özellikleri

SIC, mükemmel fiziksel özellikleri yarı iletken alanında eşsiz bir avantaj sağlayan gelişmiş bir seramik malzemedir. Aşağıdakiler SIC konsol kürekleri ile ilgili temel fiziksel parametrelerdir:

● Yüksek saflık: Yüksek saflıkta SIC malzemesinin kullanımı, işlem kontaminasyonunu en aza indirebilir ve ürün verimini iyileştirebilir.

● Mükemmel yüksek sıcaklık direnci: SIC, 2830 ° C'ye kadar bir erime noktasına sahiptir, bu da plazma aşısı ve yüksek sıcaklık tavlama gibi aşırı sıcaklık ortamlarında yapısal bütünlüğü korumasını sağlar ve uzun süreli çalışma sıcaklığı 1000 ° C'den fazla ulaşabilir.

● Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Mohs sertliği 9-9.5, sadece elmasın ikinci sırada, sic konsol küreklerine mükemmel aşınma direnci ve yüksek frekanslı gofret iletimi sırasında boyutsal stabiliteyi koruyarak.

● Mükemmel termal iletkenlik: SIC seramiklerinin termal iletkenliği, ısıyı hızla dağıtabilen ve gofrete zarar verebilecek yerel aşırı ısınmayı önleyebilen 120-250 w/(m · k) (tipik değer) kadar yüksektir.

● Düşük termal genleşme katsayısı: Düşük termal genleşme katsayısı (yaklaşık 4.0 × 10⁻⁶ /k), sıcaklık değiştiğinde boyutsal stabilite sağlar, termal genleşme ve kasılma nedeniyle stresi önler ve böylece gofret hasarı riskini azaltır.

Ⅲ. Sic konsol küreklerinin uygulama senaryoları

SIC konsol küreklerinin benzersiz özellikleri, yarı iletken üretiminin birden fazla bağlantısında önemli bir rol oynamalarını sağlar:

● Plazma dağlama ekipmanı: Plazma aşındırma odasında, SIC konsol kürekleri, boyutsal stabiliteyi korurken, dağlama doğruluğunu ve ekipman ömrünü uzatırken plazma bombardımanına ve aşındırıcı gaz erozyonuna dayanabilen gofret destekleri olarak hizmet eder.

● İnce Film Biriktirme Ekipmanı (CVD/PVD): Kimyasal buhar birikimi (CVD) ve fiziksel buhar birikimi (PVD) sürecinde, gofretleri desteklemek için SIC konsol kürekleri kullanılır. Mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve termal iletkenlikleri, gofretleri eşit olarak ısıtmaya ve ince film biriktirme işlemi sırasında üretilen partikül kontaminasyonunu önlemeye yardımcı olur.

● gofret transfer sistemi: Otomatik gofret transfer sisteminde, SIC konsol kürekleri yüksek sertlikleri ve aşınma direncleri nedeniyle yüksek frekanslı mekanik harekete dayanabilir, farklı işlem odaları arasındaki gofretlerin doğru ve hızlı aktarılmasını sağlar, gofret hasarı ve kontaminasyon riskini azaltır.

● Yüksek sıcaklık tavlama işlemi: Yüksek sıcaklıkta tavlama fırında, SIC konsol kürekleri ultra yüksek sıcaklık ortamlarına dayanabilir, gofretler için sabit destek sağlayabilir ve tavlama sürecinin tekdüzeliğini ve etkinliğini sağlayabilir.

Veteksemicon, ürün kalitesi için yarı iletken süreçlerin katı gereksinimlerinin farkındadır. Bu nedenle, özelleştirilmiş hizmetleri destekliyoruz ve özel ekipman ve süreç gereksinimlerinize göre özelleştirilmiş SIC konsol kürek tasarımı ve üretimi sağlayabiliriz. Ayrıca, her ürünün en yüksek endüstri standartlarını karşıladığından emin olmak için katı kalite denetimlerine uğramasını sağlamak için katı kalite kontrolünü de kontrol edeceğiz.

Daha da önemlisi, Vetek Semiconductor'ın teknik ekibi size kapsamlı teknik danışma ve ürün çözümleri sunacaktır. SIC Konsolumuzu seçmek, daha yüksek üretim verimliliği, daha uzun ekipman ömrü ve daha iyi ürün verimi seçmek anlamına gelir. Daha fazla danışmanlığınızı dört gözle bekliyorum.