SIC ICP gravür plakası

ICP aşındırma (endüktif olarak birleştirilmiş plazma aşındırma) teknolojisi, yarı iletken üretiminde hassas bir aşındırma işlemidir, özellikle yüksek hassasiyetli ve yüksek kaliteli desen transferi için kullanılır, özellikle derin delik dağlama, mikro patern işleme vb. İçin uygundur.

Yarım'Sic ICP aşındırma plakası, yüksek kaliteli SIC malzemeleri kullanılarak ICP işlemi için özel olarak tasarlanmıştır ve yüksek sıcaklık, güçlü korozif ve yüksek enerji ortamlarında mükemmel performans sağlayabilir. Rulman ve destek için önemli bir bileşen olarak,ICP aşınmasıPlaka, dağlama işlemi sırasında stabilite ve verimliliği sağlar.

SIC ICP gravür plakasıÜrün özellikleri

● Yüksek sıcaklık toleransı

SIC ICP aşındırma plakası, yüksek sıcaklık ICP aşındırma ortamında stabil kullanım sağlayarak ve sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu deformasyon veya performans bozulmasını önleyerek 1600 ° C'ye kadar sıcaklık değişikliklerine dayanabilir.

●  Mükemmel korozyon direnci

Silikon karbür malzemesidağlama sırasında maruz bırakılabilen hidrojen florür, hidrojen klorür, sülfürik asit, vb.

●  Düşük termal genleşme katsayısı

SIC ICP aşındırma plakası, yüksek sıcaklık ortamında iyi boyutsal stabiliteyi koruyabilen, sıcaklık değişikliklerinin neden olduğu stresi ve deformasyonu azaltabilen ve doğru dağlama işlemini sağlayabilen düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir.

●  Yüksek sertlik ve aşınma direnci

SIC, dağlama işlemi sırasında meydana gelebilecek, servis ömrünü uzatabilecek ve yedek frekansını azaltabilecek mekanik aşınmayı etkili bir şekilde önleyebilen 9 Mohs sertliğine kadar sertliğe sahiptir.

● EXcellent termal iletkenlik

Mükemmel termal iletkenlik,Sic tepsisigravür işlemi sırasında ısıyı hızlı bir şekilde dağıtabilir, böylece ısı birikiminin neden olduğu yerel sıcaklık artışlarından kaçınabilir, böylece dağlama işleminin stabilitesini ve homojenliğini sağlar.

Güçlü bir teknik ekibin desteğiyle Veteksemicon sic ICP Çöp Tepsisi çeşitli zor projeleri tamamladı ve ihtiyaçlarınıza göre özelleştirilmiş ürünler sağlıyor. Soruşturmanızı dört gözle bekliyoruz.

CVD SIC'nin temel fiziksel özellikleri: