Sic kaplı e-chuck

Galyum nitrür (GAN) üçüncü nesil yarı iletkenin temel malzemesi haline geldikçe, 5G iletişim tabanı istasyonları, güç modülleri ve LED cihazlar gibi yüksek frekanslı, yüksek güç ve optoelektronik alanlardaki uygulamaları genişlemeye devam etmektedir. Bununla birlikte, yarı iletken üretiminde, özellikle dağlama işleminde, gofretlerin yüksek sıcaklık, yüksek kimyasal korozyon ortamına ve gofret taşıma araçları için son derece yüksek teknik standartlar ortaya koyan son derece yüksek hassasiyetli işlem gereksinimlerine tabi tutulması gerekir.

Vetek Semiconductor'ın SIC seramik paletleri, gan gofret dağlama için tasarlanmıştır ve üretim sürecinizi desteklemek için yüksek saflık, mükemmel ısı ve kimyasal direnç sunar. Plazma aşındırma (ICP/RIE) işlemi için uygundur ve modern yarı iletken üretim ekipmanlarında ideal bir seçimdir.

Çekirdek güçlü yönler

1. Yüksek saflıkta sic seramik malzeme

Kimyasal stabilite: Malzemenin saflığı%99.5'ten fazladır ve gan gofretinde kirlilik yoktur.

Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Elmasa yakın sertlik, yüksek frekans kullanımı, görünmez değişiklikler ve çiziklere dayanabilir.

2. Mükemmel termal performans

Yüksek termal iletkenlik, GAN uyumlu termal genleşme katsayısı (CTE): Gaga işleminde gofret çatlama riskini azaltın.

3. Süper kimyasal korozyon direnci

Uzun süre yüksek konsantrasyon florür, klorür ve diğer aşındırıcı gaz ortamında çalışabilir.

4. Hassas tasarım ve işleme

Yüzey pürüzlülüğü ve düzlük, yüksek hassasiyetli işlem gereksinimlerini karşılamak için pürüzsüz gofret yerleşimi ve dağlama homojenliği sağlar.

Boyutlar, oluklar, sabit delikler ve diğer yapılar müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.

SIC kaplamalı e-chuck uygulaması alanı

● Plazma aşınması (ICP/RIE)

GAN, SIC ve diğer malzemelerin dağlama işlemine uygun yüksek sıcaklık ve yüksek kimyasal korozyon ortamında gofret sabitleme ve destek sağlar.

● Gofret transferi ve depolama

Üretim sürecinde gofretin güvenliğini korumak için son derece düz ve kirliliksiz bir platform sağlayın.

Özelleştirilmiş Hizmetler

Vetek Semiconductor, özel süreç ihtiyaçlarınızı karşılamak için özelleştirilmiş hizmetler sunar:

● Boyut özelleştirme: Palet boyutu gofret boyutuna (Ø4 ~ 12 inç) göre özelleştirilebilir.

● Yapı optimizasyonu: Destek oluğu, konumlandırma deliği, sabit nokta ve diğer yapı özelleştirmesi.

YarıiletkenSIC Kaplı E-Pikiş Ürünleri Mağazaları: