Silikon karbür kaplama gofret tutucu

Silikon karbür (sic) kaplama gofret tutucu, yarı iletken üretiminde, özellikle MOCVD (metal organik kimyasal buhar birikimi), LPCVD, PECVD ve termal yönlendirme gibi ultra temiz, yüksek sıcaklık işlemleri için tasarlanmış önemli bir bileşendir. Yoğun ve üniformayı entegre ederekCVD SIC kaplamaSağlam bir grafit veya seramik substratta, bu gofret taşıyıcı, sert ortamlar altında hem mekanik stabilite hem de kimyasal inertliği sağlar.

Ⅰ. Yarıiletken işlemede çekirdek işlev

Yarı iletken imalatında, gofret tutucular, gofretlerin biriktirme veya termal tedavi sırasında güvenli bir şekilde desteklenmesini, düzgün bir şekilde ısıtılmasını ve korunmasını sağlamada çok önemli bir rol oynarlar. SIC kaplama, baz substratı ve işlem ortamı arasında inert bir bariyer sağlar, yüksek cihaz verimi ve güvenilirliğine ulaşmak için kritik olan parçacık kontaminasyonunu ve dışını etkili bir şekilde en aza indirir.

Temel uygulamalar şunları içerir:

● Epitaksiyal büyüme (sic, gan, gaas katmanları)

● Termal oksidasyon ve difüzyon

● Yüksek sıcaklık tavlama (> 1200 ° C)

● Vakum ve plazma işlemleri sırasında gofret transferi ve desteği

Ⅱ. Üstün fiziksel özellikler

Bu parametreler, gofret tutucunun titiz işlem döngüleri altında bile performans stabilitesini koruma yeteneğini gösterir, bu da onu yeni nesil cihaz üretimi için ideal hale getirir.

Ⅲ. İşlem İş Akışı-Adım Adım Uygulama Senaryosu

Hadi alalımMOCVD epitaksiKullanımı göstermek için tipik bir süreç senaryosu olarak:

1. Gofret yerleşimi: Silikon, gan veya sic gofret yavaşça sic kaplı gofret suyunun üzerine yerleştirilir.

2. Oda ısıtma: Oda hızla yüksek sıcaklıklara (~ 1000-1600 ° C) ısıtılır. SIC kaplama verimli termal iletim ve yüzey stabilitesi sağlar.

3. Öncü giriş: Metal-organik öncüler odaya akar. SIC kaplaması kimyasal saldırılara direnir ve substrattan daha fazla çıkmayı önler.

4. Epitaksiyal tabaka büyümesi: Tek tip katmanlar kontaminasyon veya termal disto olmadan birikirRtion, tutucunun mükemmel düzlüğü ve kimyasal etkisi sayesinde.

5. Serin ve Çıkarma: İşlemden sonra tutucu, parçacık dökülmesi olmadan güvenli termal geçiş ve gofret alımına izin verir.

Boyutsal stabiliteyi, kimyasal saflığı ve mekanik mukavemeti koruyarak, SIC kaplama gofret süngeri işlem verimini önemli ölçüde artırır ve araç kesinti süresini azaltır.

CVD SIC Film Kristal Yapısı:

Veteksemicon Ürün Deposu: