ASM için SiC kaplı grafit tutucu

Genel ürün bilgileri

Ürün iş şartları

✔ Başvuru: Veteksemicon SiC kaplı grafit substrat, ASM serisi epitaksiyel ekipmanlar için önemli bir sarf malzemesidir. Plakayı doğrudan destekler ve yüksek sıcaklıktaki epitaksi sırasında düzgün ve kararlı bir termal alan sağlar; bu da onu GaN ve SiC gibi gelişmiş yarı iletken malzemelerin yüksek kalitede büyümesini sağlamak için temel bir bileşen haline getirir.

✔ Sağlanabilecek hizmetler: müşteri uygulama senaryo analizi, materyallerin eşleştirilmesi, teknik problem çözümü. 

✔ Şirket profili：Veteksemicon'un 2 laboratuvarı, 20 yıllık malzeme tecrübesine sahip, Ar-Ge ve üretim, test ve doğrulama yeteneklerine sahip uzman bir ekibi bulunmaktadır.

Teknik Parametreler

ASM çekirdek avantajları için Veteksemicon SiC kaplı grafit tutucu

1. Aşırı saflık ve düşük kusur oranı

Yüksek saflıkta, ince parçacık dereceli özel grafit alt tabakayı sıkı bir şekilde kontrol edilen kimyasal buhar biriktirme (CVD) kaplama işlemimizle birleştirerek kaplamanın yoğun, iğne delikleri ve yabancı maddelerden arınmış olmasını sağlıyoruz. Bu, epitaksiyel işlem sırasında partikül kontaminasyonu riskini önemli ölçüde azaltır ve yüksek kaliteli epitaksiyel katmanların büyümesi için temiz bir alt tabaka ortamı sağlar.

2. Mükemmel korozyon direnci ve aşınma direnci

Pirolitik silisyum karbür kaplama, son derece yüksek sertliğe ve kimyasal inertliğe sahip olup, yüksek sıcaklıklarda silikon kaynaklarının (SiH4, SiHCl3 gibi), karbon kaynaklarının (C3H8 gibi) ve aşındırma gazlarının (HCl, H2 gibi) erozyonuna etkili bir şekilde direnç gösterir. Bu, tabanın bakım döngüsünü önemli ölçüde uzatır ve bileşen değişiminden kaynaklanan makine aksama süresini azaltır.

3. Mükemmel termal tekdüzelik ve kararlılık

Hassas alt tabaka yapısı tasarımı ve kaplama kalınlığı kontrolü yoluyla termal alan dağılımını çalışma sıcaklığı aralığında optimize ettik. Bu doğrudan epitaksiyel levhada mükemmel kalınlık ve direnç eşitliği anlamına gelir ve gelişmiş talaş üretim verimine katkıda bulunur.

4. Mükemmel kaplama yapışma mukavemeti

Benzersiz yüzey ön işlemi ve gradyan kaplama teknolojisi, silikon karbür kaplamanın grafit alt tabaka ile güçlü bir bağlanma katmanı oluşturmasını sağlayarak, uzun süreli termal döngü sırasında meydana gelebilecek kaplamanın soyulması, pullanması veya çatlaması sorunlarını etkili bir şekilde önler.

5. Hassas boyut ve yapısal çoğaltma

Orijinal tabanın karmaşık geometrisini, boşluk boyutlarını ve montaj arayüzlerini tamamen kopyalamamıza olanak tanıyan, müşterinin platformuyla mükemmel uyum ve tak ve çalıştır işlevselliği sağlayan olgun CNC işleme ve test yeteneklerine sahibiz.

6. Ekolojik zincir doğrulama onayı

ASM'nin ekolojik zincir doğrulaması için Veteksemicon SiC kaplı grafit tutucu, hammaddelerin üretime kadar olan kısmını kapsar, uluslararası standart sertifikasını geçmiştir ve yarı iletken ve yeni enerji alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir.

Ayrıntılı teknik spesifikasyonlar, teknik incelemeler veya örnek test düzenlemeleri için lütfen Teknik Destek Ekibimizle iletişime geçerek Veteksemicon'un proses verimliliğinizi nasıl artırabileceğini keşfedin.

Ana uygulama alanları

Rakibim ürünleri mağazası