8 İnç CVD Silisyum Karbür (SiC) Kaplamalı Epitaksi Üst Halkası

8 İnç SiC Epi Üst Halkanın Temel Özellikleri

● Yüksek Saflık: minimum %99,9995. Metal epi katmanına geçmez. Bu, levha taşıyıcı konsantrasyonunu olması gereken yerde tutar.

● Parçacık bastırma: CVD yapısı yoğundur. Gözenek yok. Alet çalışırken parçacık dökmez. Fabrikalar bu şekilde daha iyi verim elde ediyor.

● Isı Direnci: Halka 1500°C'de stabil kalır. Düşük CTE (termal genleşme), hızlı ısınma/soğuma döngüleri sırasında bükülme olmaması anlamına gelir.

● Kimyasal Kararlılık: Katı CVD SiC, H2 ve HCl gazlarına karşı dayanıklıdır. Ayrıca NH3'e de dayanıklıdır. Soyulması gereken bir kaplaması yoktur. Zorlu CVD ortamlarında bozulmaz.

● Bileşen Ömrü: Yüzey son derece serttir. Tekrarlanan HF/HCl kimyasal temizliğine dayanır. Bu, değiştirme sıklığını azaltır. Aynı zamanda fabrikanın toplam sahip olma maliyetini de azaltır.

Teknik Özellikler

Partiler arasındaki kaplama kalınlığının düzgünlüğü 10um'da kontrol edilir

Uygulamalar

CVD SiC epi üst halkası aşağıdaki alanlarda yaygın olarak kullanılır:

● Silikon epitaksi (Si Epi) reaktörleri

● Silisyum karbür epitaksi (SiC Epi)

● MOCVD sistemleri

● CVD biriktirme ekipmanı

Yaygın olarak aşağıdakilerle eşleştirilir:

● Şüpheliler

● Gofret taşıyıcıları

● Ön ısıtma halkaları

● Epitaksi reaktörleri

Neden VETEK SiC Epi Üst Halkayı seçmelisiniz?

● Tam Üretim Yeteneği: 

Hammadde saflaştırmasından hassas işleme ve CVD kaplamaya kadar VETEK, tutarlı yarı iletken kalitesinde kalite sağlamak için tüm üretim sürecini kontrol eder.

● Yüksek Doğruluk: 

Mikron düzeyinde işleme kullanıyoruz. CVD kalınlığı çok düzgündür. Bu, her yüzüğün tamamen aynı şekilde performans göstermesini sağlar.

SSS

(1) SiC epi üst halkası ne işe yarar?

Halka ısı ve gaz akışını yönetir. İnce filmin levha boyunca eşit şekilde büyümesini sağlar.

(2) CVD SiC neden grafitten daha iyidir?

Grafit gözeneklidir. Grafitin gözenekleri vardır ve gaz açığa çıkarır. Katı CVD SiC yoğun ve temizdir. Aşındırıcı aletlerde çok daha uzun ömürlüdür.

(3). 8 inçlik SiC üst halkası özelleştirilebilir mi?

Evet. Özel takım çizimlerinize göre üretiyoruz. Geometriyi prosesinize göre ayarlayabiliriz.

(4). Hangi endüstriler SiC epitaksi halkalarını kullanıyor?

Çoğunlukla güç cihazları, RF cihazları ve SiC levha üretimi dahil olmak üzere yarı iletken üretiminde kullanılırlar.