Ürünler
Silikon karbür robot kolu
  • Silikon karbür robot koluSilikon karbür robot kolu
  • Silikon karbür robot koluSilikon karbür robot kolu

Silikon karbür robot kolu

Silikon karbür (sic) robotik kolumuz, gelişmiş yarı iletken üretiminde yüksek performanslı gofret kullanımı için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta silikon karbürden yapılmış bu robotik kol, yüksek sıcaklıklara, plazma korozyonuna ve kimyasal saldırıya karşı olağanüstü bir direnç sunar ve talepkar temiz oda ortamlarında güvenilir bir çalışma sağlar. Olağanüstü mekanik mukavemeti ve boyutsal stabilitesi, kontaminasyon risklerini en aza indirirken hassas gofret taşımasını mümkün kılar, bu da MOCVD, epitaksi, iyon implantasyonu ve diğer kritik gofret taşıma uygulamaları için ideal bir seçim haline getirir. Sorularınızı memnuniyetle karşılıyoruz.

Veteksemicon'un Silikon Karbür Robotik Kol, özellikle sert endüstriyel ortamlar için tasarlanmış üst düzey bir yarı iletken işleme çözümüdür. Gelişmiş yüksek saflıkta silikon karbür malzeme teknolojisi kullanılarak, yüksek sıcaklıklarda, aşındırıcı ortamlarda ve ultra yüksek vakum koşullarında olağanüstü stabilite ve dayanıklılık gösterir. Gofret taşıma, dağlama ve biriktirme işlemlerinde önemli bir bileşen olarak, robotik kolumuz üretkenliği önemli ölçüde artırır ve bakım maliyetlerini azaltır.


Ⅰ. Teknik parametreler


Proje
Parametre
Malzeme
Yüksek saflıkta sic
Yüzey sertliği
2800-3200 HV
Yük kapasitesi
3kg/5kg/10kg (çeşitli özellikler mevcuttur)
Termal iletkenlik
Termal iletkenlik
Direnç
10^3-10^5 ω; santimetre
Uygulanabilir ortam
Yüksek sıcaklık, plazma, aşındırıcı gaz, ultra yüksek vakum
Konumlandırma doğruluğunu tekrarlayın
± 0.02mm

Ⅱ. Veteksemicon silikon karbür robot kol çekirdek avantajları


1. Aşırı Çevre Toleransı

Robot kolumuz, 1500 ° C'lik sürekli sıcaklıklarda yapısal bütünlüğü korumasını ve plazma bombardımanından ve güçlü asit ve alkalin ortamlarından korozyona etkili bir şekilde direnmesini sağlayan, çok sayıda yüksek sıcaklık biriktirme işlemine maruz kalan benzersiz formüle edilmiş bir SIC kaplama kullanır. Bu, yaşlanmaya eğilimli ve aşırı çalışma koşulları altında kısa bir ömrü olan geleneksel malzemelerin ağrı noktalarını temel olarak ele alır.


2. Mükemmel mekanik özellikler

Grafit substratı ve SIC kaplamasının kompozit bir yapısını benimseyerek, kolun son derece hafif olmasını sağlarken metal malzemelerinkinden çok fazla bir sertlik elde ettik. Bu tasarım, yüksek hızlı pistonlu hareket sırasında robot kolunun deformasyonunun son derece küçük olmasını sağlar, titreşimi etkili bir şekilde bastırır, böylece tekrar konumlandırma doğruluğunu ± 0.02mm içinde sıkıca kontrol ederek hassas gofretlerin güvenli iletimini sağlar.


3. Ultra yüksek temizlik

Partikül kontaminasyonunun bir numaralı verim katili olduğunu biliyoruz. Bu nedenle, her robot kolu hassas parlatma ve özel yüzey işlemine maruz kalır, bu da 0.1μm'den daha az bir yüzey pürüzlülüğü RA ile sonuçlanır. Kaplama güvenli bir şekilde yapışır ve soyulma riskini önler. Ürünlerimiz% 100 temizlikte test edilmiş, tamamen ultra yüksek temiz oda gereksinimlerini karşılamaktadır ve son teknoloji ürünü üretim hatlarında kullanıma hazırdır.


4. Uzun hizmet ömrü

SIC'nin 3000 HV'lik doğal sertliği ve mükemmel aşınma direnci sayesinde, robot kollarımız on binlerce hareket döngüsünden sonra bile minimum performans bozulması yaşıyor. Servis ömrü, sıradan seramik veya alüminyum alaşım bileşenlerinin birkaç katıdır, değiştirme ve bakım için kesinti süresini önemli ölçüde azaltır ve müşterilerimiz için önemli genel maliyet etkinliği sağlar.


Ⅲ. Ana Uygulama Alanları


Uygulama yönü
Tipik senaryo
Semiconductor üretimi
Gofret taşıma, transfer ve konumlandırma
LED Üretim
MOCVD Reaksiyon Odası Bileşenleri
Fotovoltaik endüstri
PECVD, difüzyon süreci
Havacılık
Yüksek sıcaklık test ortamlarında otomatik işleme

Veteksemicon Silikon Karbür Robot Kolunun Ekolojik Zincir Doğrulaması Hammaddeleri Üretime Kapsar, Uluslararası Standart Sertifikasyondan Geçti ve Yarıiletken ve Yeni Enerji Alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir. İstediğiniz zaman bize danışmaya hoş geldiniz.


Veteksemicon products shop

Sıcak Etiketler: Silikon karbür robot kolu
Talep Gönder
İletişim bilgileri
Silisyum Karbür Kaplama, Tantal Karbür Kaplama, Özel Grafit veya fiyat listesi ile ilgili sorularınız için lütfen e-posta adresinizi bize bırakın, 24 saat içinde sizinle iletişime geçeceğiz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept