Tac kaplama aynası

Vetek Semiconductor'ın TAC kaplama Chuck, SIC EPI işleminde olağanüstü sonuçlar elde etmek için ideal bir çözümdür. Tantal karbür kaplaması, yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal inertliği ile ürünümüz, hassasiyet ve güvenilirlik ile yüksek kaliteli kristaller üretmenizi sağlar.

TAC tantal karbür, epitaksiyal ekipmanların iç kısımlarının yüzeyini kaplamak için yaygın olarak kullanılan bir malzemedir. Aşağıdaki özelliklere sahiptir:

● Mükemmel yüksek sıcaklık direnci: Tantal karbür kaplama 2200 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir, bu da onları epitaksiyal reaksiyon odaları gibi yüksek sıcaklık ortamlarında uygulamalar için ideal hale getirir.

● Yüksek sertlik: Tantalik karbürün sertliği, yüzey aşınmasını etkili bir şekilde önleyebilen yaygın olarak kullanılan paslanmaz çelik veya alüminyum alaşımından çok daha zor olan yaklaşık 2000 HK'ya ulaşır.

● Güçlü kimyasal istikrar: Tantalum karbür kaplama kimyasal olarak aşındırıcı ortamlarda iyi performans gösterir ve epitaksiyal ekipman bileşenlerinin hizmet ömrünü büyük ölçüde genişletebilir.

● İyi elektrik iletkenliği: Kaplama yüzeyi, elektrostatik salım ve ısı iletimine elverişli olan iyi elektrik iletkenliğine sahiptir.

Bu özellikler, tac tantal karbür kaplamayı, iç burçlar, reaksiyon odası duvarları ve epitaksiyal ekipman için ısıtma elemanları gibi kritik parçaların üretimi için ideal bir malzeme haline getirir. Bu bileşenleri TAC ile kaplayarak, epitaksiyal ekipmanların genel performans ve servis ömrü geliştirilebilir.

Silikon karbür epitaksisi için TAC kaplama yığını da önemli bir rol oynayabilir. Yüzey kaplama yüksek kaliteli silikon karbür filmlerinin oluşumuna elverişli olan pürüzsüz ve yoğundur. Aynı zamanda, TAC'nin mükemmel termal iletkenliği, ekipman içindeki sıcaklık dağılımının tekdüzeliğini artırmaya yardımcı olabilir, böylece epitaksiyal işlemin sıcaklık kontrolü doğruluğunu artırabilir ve sonuçta daha yüksek kaliteye ulaşabilir.silikon karbür epitaksiyalkatman büyümesi.

Vetek Semiconductor'ın Ürün Mağazaları: