Yarı iletken alanındaki TAC kaplı parçaların özel uygulaması nedir?

Tantalum karbür (TAC) kaplamanın fiziksel özellikleri

Yarıiletken alanında tantal karbür (TAC) kaplamasının uygulanması

1. epitaksiyal büyüme reaktör bileşenleri

TAC kaplama, Galyum Nitrür (GAN) epitaksiyal ve silikon karbür (sic) epitaksiyalinin kimyasal buhar birikimi (CVD) reaktör bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.gofret taşıyıcıları, uydu yemekleri, nozullar ve sensörler. Bu bileşenler, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda son derece yüksek dayanıklılık ve stabilite gerektirir. TAC kaplama hizmet ömrünü etkili bir şekilde genişletebilir ve verimi artırabilir.

2. Tek kristal büyüme bileşeni

SIC, GAN ve alüminyum nitrür (AIN) gibi malzemelerin tek kristal büyüme sürecinde,Tac kaplamakabiliyetler, tohum kristal tutucuları, kılavuz halkalar ve filtreler gibi anahtar bileşenlere uygulanır. TAC kaplamalı grafit malzemeler safsızlık göçünü azaltabilir, kristal kalitesini artırabilir ve kusur yoğunluğunu azaltabilir.

3. Yüksek sıcaklık endüstriyel bileşenleri

TAC kaplama, dirençli ısıtma elemanları, enjeksiyon nozulları, koruma halkaları ve lehimleme armatürleri gibi yüksek sıcaklık endüstriyel uygulamalarda kullanılabilir. Bu bileşenlerin yüksek sıcaklık ortamlarında iyi performansı koruması gerekir ve TAC'nin ısı direnci ve korozyon direnci onu ideal bir seçim haline getirir.

4. MOCVD sistemlerinde ısıtıcılar

TAC kaplı grafit ısıtıcılar, metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) sistemlerinde başarıyla tanıtılmıştır. Geleneksel PBN kaplı ısıtıcılarla karşılaştırıldığında, TAC ısıtıcılar daha iyi verimlilik ve tekdüzelik sağlayabilir, güç tüketimini azaltabilir ve yüzey emisyonunu azaltabilir, böylece bütünlüğü artırabilir.

5. gofret taşıyıcıları

TAC kaplı gofret taşıyıcıları, SIC, AIN ve GAN gibi üçüncü nesil yarı iletken malzemelerin hazırlanmasında önemli bir rol oynamaktadır. Çalışmalar, korozyon oranınınTac kaplamalarYüksek sıcaklıkta amonyak ve hidrojen ortamlarıSic kaplamalarbu da uzun süreli kullanımda daha iyi stabilite ve dayanıklılık göstermesini sağlar.