TAC Kaplama Kaide Destek Plakası

Vetek Semiconductor, esas olarak CVD TAC kaplama duyucuları, giriş halkası, gofret chunck, TAC kaplamalı tutucu, TAC kaplama kaidesi destek plakasını uzun yıllar deneyimle üreten Çin üreticisi ve tedarikçisidir. Sizinle iş ilişkisi kurmayı umuyoruz.

TAC seramiklerinin erime noktası 3880 ℃, yüksek sertlik (MOHS sertliği 9 ~ 10), büyük termal iletkenlik (22W · m^-1· K⁻¹), büyük bükülme mukavemeti (340 ~ 400MPa) ve küçük termal genleşme katsayısı (6.6 × 10⁻⁶K⁻¹) ve mükemmel termokimyasal stabilite ve mükemmel fiziksel özellikler gösterir. Grafit ve C/C kompozit malzemelerle iyi kimyasal ve mekanik uyumluluğa sahiptir, bu nedenle TAC kaplama havacılık ve uzay termal korumasında, tek kristal büyümede ve yarı iletken endüstrisinde Aixtron, LPE EPI reaktörü gibi epitaksiyal reaktörlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. 

TAC kaplı grafit, çıplak taş mürekkep veya SIC kaplı grafitten daha iyi kimyasal korozyon direncine sahiptir, 2200 ° yüksek sıcaklıkta stabil olarak kullanılabilir, birçok metal elementle reaksiyona girmez, üçüncü nesil yarı iletken tek kristal büyümesi, epitaksi ve gofret gravürü, en iyi performans kaplamasının, sıcaklık kontrolü, yüksek kalite silikasyonlarının prosemini önemli ölçüde iyileştirebilir, gofret. Özellikle MOCVD ekipmanlarında GAN veya ALN tek kristal yetiştirmek için uygundur ve PVT ekipmanında SIC tek kristal için uygundur ve büyütülen tek kristalin kalitesi açıkça geliştirilmiştir.