TAC kaplama rotasyon duyucusu

Vetek Yarıiletken TAC kaplama rotasyon duyucusu, yarı iletken işlemede gofret kullanımı için anahtar bir bileşendir. OnunTac neBizimMükemmel yüksek sıcaklık toleransına (3880 ° C'ye kadar erime noktasına), kimyasal stabilite ve korozyon direncine sahiptir, bu da gofret işlemede yüksek hassasiyet ve yüksek kalite sağlar.

TAC kaplama rotasyon duyucusu (tantal karbon kaplama rotasyon duyucusu), yarı iletken işlemede kullanılan temel ekipman bileşenidir. Genellikle kurulurKimyasal buhar birikimi (CVD)ve muntazam malzeme birikimi ve etkili reaksiyon sağlamak için gofretleri desteklemek ve döndürmek için moleküler ışın epitaksi (MBE) ekipmanı. Bu tür ürün, substratı kaplayarak ekipmanın yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda servis ömrünü ve performansını önemli ölçüde iyileştirirTantal karbon (TAC) kaplama.

TAC kaplama rotasyon duyucusu genellikle substrat malzemesi olarak TAC kaplama ve grafit veya silikon karbürden oluşur. TAC, son derece yüksek erime noktasına (3880 ° C'ye kadar erime noktası), sertlik (Vickers sertliği yaklaşık 2000 HK) ve mükemmel kimyasal korozyon direncine sahip ultra yüksek sıcaklıkta bir seramik malzemedir. Vetek yarı iletken, CVD teknolojisi aracılığıyla substrat malzemesi üzerindeki tantal karbon kaplamasını etkili ve eşit olarak kaplayabilir.

Rotasyon duyucu genellikle yüksek termal iletkenlik ve yüksek mukavemetli malzemelerden (grafit veyasilikon karbür), yüksek sıcaklık ortamlarında iyi mekanik destek ve termal stabilite sağlayabilir. İkisinin mükemmel kombinasyonu, TAC kaplama rotasyon duyucusunun gofretleri desteklemede ve döndürmede mükemmel performansını belirler.

TAC kaplama rotasyon suyeni, CVD işleminde gofreti destekler ve döndürür. Tac'ın Vickers sertliği yaklaşık 2000 HK'dır, bu da malzemenin tekrarlanan sürtünmesine direnmesini ve iyi bir destekleyici rol oynamasını sağlar, böylece reaksiyon gazının gofret yüzeyine eşit olarak dağıtılmasını ve malzemenin eşit olarak birikmesini sağlar. Aynı zamanda, TAC kaplamanın yüksek sıcaklık toleransı ve korozyon direnci, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı atmosferlerde uzun süre kullanılmasını sağlar, bu da gofret ve taşıyıcının kontaminasyonunu etkili bir şekilde önler.

Ayrıca, TAC'nin termal iletkenliği, iyi ısı transferine sahip 21 w/m · k'dir. Bu nedenle, TAC kaplama rotasyon duyucu, yüksek sıcaklık koşulları altında gofretleri eşit olarak ısıtabilir ve rotasyonel hareket yoluyla gaz biriktirme işleminin homojenliğini sağlayabilir, böylece tutarlılığı ve yüksek kalitesini koruyabilir.gofret büyümesi.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TAC) kaplama：

TAC kaplamanın fiziksel özellikleri：

TAC Kaplama Döndürme Sensör Mağazaları: