Dikey fırın SiC kaplı halka

Dikey fırınlarda SiC kaplı halkaların kullanımı yaygın bir çözüm olup, esas olarak yüksek sıcaklıkta ısıl işlem proseslerinde kullanılır.yarı iletken gofretler. Dikey Fırın SIC kaplı halkalar, sürecin stabilitesini ve güvenilirliğini sağlamak için gofretleri desteklemek veya korumak için kullanılan yüksek performanslı, yüksek sıcaklığa dayanıklı bileşenlerdir.

Dikey fırın sic kaplı halkanın fonksiyonları

● İşlevler

Destekleyici rol. Yüksek sıcaklıklı fırınlarda kararlılıklarını ve doğru konumlarını sağlamak amacıyla gofretleri desteklemek için kullanılır.

●  Korozyon koruması

Korozif gazların veya kimyasalların taban malzemesinin aşındırmasını önleyin.

●  Kirliliği azaltın

Yüksek saflıkta SIC kaplama, işlem temizliğini sağlamak için parçacık dökülmesini ve safsızlık kontaminasyonunu etkili bir şekilde önleyebilir.

●  Yüksek sıcaklık direnci

Yüksek sıcaklık ortamlarında (genellikle 1000 ° C'nin üzerinde) mükemmel mekanik özellikleri ve boyutsal stabiliteyi koruyun.

Dikey fırın sic kaplamalı halkanın özellikleri

●  Yüksek sertlik ve mukavemet

SIC malzemeleri mükemmel mekanik mukavemete sahiptir ve fırında yüksek sıcaklık stresine dayanabilir.

●  İyi termal stabilite

SiC'nin yüksek termal iletkenliği ve düşük termal genleşme katsayısı, termal stresin azaltılmasına yardımcı olur.

●  Güçlü kimyasal istikrar

SIC kaplamaları oksitleyici, asidik veya alkalin ortamlarda korozyona dayanabilir.

●  Düşük parçacık kontaminasyonu

Pürüzsüz yüzey, özellikle yarı iletken üretiminin ultra temiz ortamı için uygun olan parçacık üretimi olasılığını azaltır.

Silikon levhaları desteklemek ve ısıl işlem sırasında parçacık kirlenmesini önlemek için dikey fırınlarda difüzyon, oksidasyon, tavlama ve diğer işlemler için kullanılır.

Üretim malzemeleri ve süreçleri

●  Alt tabaka: Yüksek kaliteli SGL grafitten yapılmıştır, kalite garantilidir.

●  Kaplama: Silisyum karbür kaplama, grafit yüzeye kimyasal buhar biriktirme (CVD) yoluyla uygulanır.

● Kaplama kalınlığı genellikle kullanım gereksinimlerine göre ayarlanan 50 ~ 500μm arasındadır.

●  Kimyasal buhar biriktirme SiC kaplaması daha yüksek saflığa ve yoğunluğa ve daha iyi dayanıklılığa sahiptir.

Uygun olanı seçinSiC kaplamaFırındaki silikon gofretin çapına ve taşıyıcı özelliklerine göre halka. Bunu sizin için özelleştirebiliriz. Yüksek saflıkta, yoğun kaplama daha dayanıklı ve daha az kirleticidir. Kaplama yaşlanması nedeniyle kontaminasyonu veya destek arızasını önlemek için kullanım sıklığına göre düzenli olarak değiştirin.

Çin'de profesyonel bir Dikey Fırın SiC kaplı halka tedarikçisi ve üreticisi olan VeTek Semiconductor, uzun süredir yarı iletken endüstrisi için gelişmiş Dikey Fırın teknolojisi ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle bekliyoruz.

CVD SIC FİLM KRİSTAL YAPISI

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

VeTek Yarı İletkenDikey Fırın SiC kaplı Ring Mağazaları: