Elektrostatik Chuck (ESC) nedir?

Elektrostatik chuck (ESC, E-chuck) olarak da bilinen elektrostatik chuck (ESC), adsorbe edilen malzemeyi tutmak ve düzeltmek için elektrostatik adsorpsiyon prensibini kullanan bir fikstürdür. Vakum ve plazma ortamları için uygundur. Ana işlevi, ultraİnce ince tabakalar (silikon gofret gibi) ve adsorbe edilen malzemeyi iyi bir düzlükte tutun, bu da işlem sırasında adsorbe edilen malzemenin deformasyonunu da engelleyebilir ve adsorbatın sıcaklığını ayarlayabilir.

Elektrostatik bir ayna (ESC), nesneleri (iş parçaları) tutmak, bastırmak ve almak için elektrostatik kuvvet kullanan özel bir ayna türüdür. Herhangi bir malzeme çıplak gözle görünmez pozitif ve negatif yükler taşır. Malzeme ESC'ye yerleştirildiğinde ve ESC'nin iç elektrotlarına bir bipolar voltaj uygulandığında, pozitif ve negatif yükler, ESC'nin iç elektrotlarının polaritesine uyacak şekilde malzeme içinde hareket edecektir. ESC ve malzeme arasındaki bu cazibe elektrostatik kuvvet olarak adlandırılır ve aynı zamanda aynalarımızın arkasındaki temel prensiptir.

Ürün avantajları

Geniş bir çalışma sıcaklığı aralığına sahiptir (-50 ila 700 ℃)

Bu elektrostatik emme bardağı mükemmel mukavemet, termal iletkenlik ve termal şok direncine sahiptir ve NGK'nın tescilli seramik hacim direnci kontrolü yoluyla geniş bir sıcaklık aralığına uyum sağlayabilir.

Yüksek korozyon direnci

Bu elektrostatik emme bardağı, halojen gazlara karşı mükemmel korozyon direncine sahiptir.

Düşük parçacık işleme

Yüzey tedavisi ve özel temizlik yoluyla düşük parçacık tedavisi elde edilebilir

Yüksek saflık

% 99.9 veya daha yüksek saflık olan ürünler de mevcuttur.

Isıtma işlevi

Yüksek hassasiyetli ısıtma elemanı gömme teknolojisi ısıtıcı fonksiyonu ile entegre edilebilir ve gofret sıcaklığı ±%1 içinde kontrol edilebilir.

Soğutma işlevi

Bu elektrostatik emme bardağı, seramik plakaları yüksek termal iletkenlik ve soğutma plakaları ile bağlayarak son derece yüksek soğutma performansına sahiptir.

Radyo frekansı elektrotu

Dökme metal elektrotlar aynı anda kararlı gofret sıkma ve radyo frekansı plazma üretimi sağlayabilir.

Parametre

1.Yarıiletken ve elektronik üretim alanında: Yarı iletken ve elektronik üretim süreçleri sırasında, elektrostatik emme bardağı ince ve kırılgan silikon gaferleri, gaferleri, vb.

2. Cam ve Seramik Endüstrisi: Cam ve seramiklerin kesilmesi, öğütülmesi ve işlenmesi süreçleri sırasında elektrostatik emme bardağı, kırılgan malzemeler üzerinde yıkıcı olmayan işlemler gerçekleştirerek ürün kırılma oranını azaltabilir.

3. Hassas makine ve optik bileşenlerin üretimi: Hassas makineler ve optik bileşenler için elektrostatik emme bardağı, işleme sırasında deformasyonu veya çizikleri önleyerek stabil adsorpsiyon kuvveti sağlayabilir.

4. Otomatik Üretim Hatları: Otomatik üretim hatlarında, elektrostatik emme bardağı, parçaların konumlandırılması, kullanılması ve montajında ​​vb. Yaygın olarak kullanılmaktadır.