MOCVD için Yüksek Saflıkta Opak Kuvars Kalkan ve Panjur

1. Teknik Özellikler

Özel ekipman modellerinize mükemmel uyum sağlamak için teknik çizimlerinizi temel alan yüksek hassasiyetli işleme sağlıyoruz.

2. Temel Uygulama Alanları

● MOCVD Proses Koruması: Reaksiyon ortamını korumak için temel iç kalkanlar/astarlar olarak hizmet eder.

● Yarı İletken Epitaksi: İnce film büyümesi sırasında akış ve sıcaklık stabilizasyonu için yüksek hassasiyetli panjur olarak kullanılır.

● Geniş Bant Aralığı Yarı İletken Üretimi: GaN ve diğer gelişmiş malzemelere yönelik yüksek talep gören ortamlarla uyumludur.

3. Neden VETEK Kuvars Çözümlerini Seçmelisiniz?

● Üstün Termal Radyasyon Yönetimi: Süt beyazı kuvarsımız, yüksek sıcaklıktaki termal radyasyonu (>1000°C) etkili bir şekilde dağıtan ve engelleyen yüksek yoğunlukta mikro kabarcıklar içerir. Isıtma elemanlarından görünür ve yakın kızılötesi ışığı emer ve bunu uzak kızılötesi radyasyona dönüştürerek son derece homojen bir ısıtma sağlar.
● Kirlilik Kontrolü ve Kolay Bakım: Kurban veya değiştirilebilir bir iç astar olarak Quartz Shield, pahalı oda duvarları ve ısıtıcılar üzerinde yan ürün birikmesini önleyerek reaksiyon odasını temiz tutar. Bu parçalar ıslak temizleme yoluyla (SPM+DHF çözümleri gibi) yenilenebilir veya yüksek levha verimi sağlamak için kolayca değiştirilebilir.
● Aşırı Kimyasal Direnç: VETEK kuvars, sık sık gerçekleşen termal döngülere dayanacak ve metal organiklerinin (TMGa gibi) ve hidritlerin (AsH₃ gibi) neden olduğu korozyona karşı direnç gösterecek şekilde tasarlanmıştır.
● Hassas Proses Kontrolü: Kuvars Panjurlarımız kızılötesi veya filament ısıtma altında yüksek boyutsal stabiliteyi korur. Düşük termal ataletleri, hızlı mekanik tepkiye olanak tanır, hassas "atomik seviyede" büyüme kontrolü sağlar ve çoklu levha veya çoklu işlem geçişleri sırasında çapraz kontaminasyonu önler.
● Uygun Maliyetli Alternatif: Kısıtlı bütçe gereklilikleri olan projeler için kuvars ürünlerimiz, kaplanmış grafit ile karşılaştırıldığında güvenilir bir giriş noktası sağlayarak MOCVD sistemleri için temel koruma ve işlevsellik sunar.