TAC kaplama grafit bileşenlerinin servis ömrünü nasıl geliştirir? - Vetek Yarıiletken

CVD Tantal Karbür kaplamaVetek Semiconductor'ın tescilli kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemi kullanılarak yüksek saflıklı grafit substrat yüzeyinde tantal karbür (TAC) buhar birikimi ile üretilir.

Tantal karbür (TaC) kaplamalar servis ömrünü önemli ölçüde artırırgrafit parçalarıözellikle yarı iletken üretimi ve kristal büyümesi gibi yüksek sıcaklıktaki, oldukça aşındırıcı ortamlarda çoklu mekanizmalar yoluyla. 

İşte bunun belirli nedenleriTaC kaplamalarGrafit parçalarının dayanıklılığını artırın:

●  İyileştirilmiş yüksek sıcaklık direnci

Son derece yüksek termal stabilite: TAC kaplamaları, 2000 ° C'yi aşan son derece yüksek sıcaklıklarda stabil kalabilir ve hatta 2200C'de etkili bir şekilde çalışabilir. Bu yüksek sıcaklık toleransı, kaplamanın yarı iletken üretimi sırasında erimiş metallerin ve kimyasal gazların erozyonuna dayanmasını sağlar, böylece grafit parçalarının servis ömrünü uzatır.

● Mükemmel korozyon direnci

Kimyasal erozyon direnci: TaC kaplamalar, hidrojen, amonyak ve silikon buharı gibi aşındırıcı gazlara karşı güçlü bir dirence sahiptir; bu, bu gazların grafit alt tabakayı aşındırmasını etkili bir şekilde önleyebilir ve zorlu ortamlarda grafit parçaların hasar görmesi riskini azaltabilir. Bu, kristal büyüme süreci sırasında kaplamanın yabancı maddelerin geçişini önleyebileceği ve kristal kalitesini ve verimini artırabileceği anlamına gelir.

● Geliştirilmiş mekanik özellikler

İyi yapışma ve termal şok direnci: TAC kaplamaları, grafit substrat için güçlü bir yapışmaya sahiptir, bu da kaplamanın yüksek sıcaklık işlemleri sırasında soyulmamasını veya delaminasyonunu sağlar. Buna ek olarak, mükemmel termal şok direnci, çatlak veya soyulmadan hızlı sıcaklık değişikliklerine dayanabilir ve grafit parçalarının servis ömrünü daha da genişletebilir.

● Safsızlık kontaminasyonunu azaltın

Ultra yüksek saflık: TaC kaplamalar son derece düşük yabancı madde içeriğine sahiptir ve bu da yüksek sıcaklık koşullarında oluşabilecek kirlenme sorunlarının azaltılmasına yardımcı olur. İstenmeyen yabancı maddelerin epitaksiyel katmana taşınmasını önleyen TaC kaplamaları, kristal büyüme sürecinin saflığını ve kalitesini önemli ölçüde artırır.

●  Termal yönetimi optimize edin

Termal iletkenliği ve dirençleri iyileştirin: TAC kaplamaları, ısıtıcılar ve diğer termal yönetim bileşenlerine uygulanmasını enerji verimliliğini artırmasını ve enerji kaybını azaltmasını sağlayan nispeten düşük termal iletkenliğe ve dirençlere sahiptir. Bu özellik sadece çalışma verimliliğini artırmakla kalmaz, aynı zamanda aşırı ısınmanın neden olduğu malzeme yorgunluğunu ve hasarı azaltır.