SIC kaplı derin UV LED suyeni

SIC kaplamalı derin UV LED suyeni, çekirdek taşıyan bileşendirMOCVD (metal organik kimyasal buhar birikimi) ekipmanı. Suyu, özellikle yüksek alüminyum içeriğe sahip alüminyum nitrür (ALN) epitaksiyal tabakasının büyümesinde, derin UV LED epitaksiyal büyümesinin tekdüzeliğini, kalınlık kontrolünü ve malzeme kalitesini doğrudan etkiler, suskunun tasarımı ve performansı çok önemlidir.

SIC kaplamalı derin UV LED suyunu, derin UV LED epitaksisi için özel olarak optimize edilmiştir ve sıkı bir süreç gereksinimlerini karşılamak için termal, mekanik ve kimyasal çevresel özelliklere dayanarak tam olarak tasarlanmıştır.

Vetek Semiconductor, suyunun çalışma sıcaklığı aralığında düzgün ısı dağılımını sağlamak için gelişmiş işleme teknolojisini kullanır ve sıcaklık gradyanının neden olduğu epitaksiyal tabakanın düzgün olmayan büyümesini önler. Hassas işleme yüzey pürüzlülüğünü kontrol eder, parçacık kontaminasyonunu en aza indirir ve gofret yüzey temasının termal iletkenlik verimliliğini geliştirir.

Vetek Semiconductor malzeme olarak SGL grafit kullanır ve yüzey ile işlenirCVD SIC kaplamaNH3, HCL ve yüksek sıcaklık atmosferine uzun süre dayanabilen. Vetek Semiconductor'ın SIC kaplamalı derin UV LED suyunu, aln/gan epitaksiyal gofretlerin termal genleşme katsayısıyla eşleşir, işlem sırasında termal gerilimin neden olduğu gofret çözülmesini veya çatlamayı azaltır.

En önemlisi, Vetek Semiconductor'ın SIC kaplamalı derin UV LED suyunu, ana MOCVD ekipmanına (Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, vb. Dahil) mükemmel bir şekilde uyum sağlar. Gofret boyutu (2 ~ 8 inç), gofret yuvası tasarımı, işlem sıcaklığı ve diğer gereksinimler için özelleştirilmiş hizmetleri destekler.

Uygulama senaryoları:

● Derin UV LED Hazırlık: 260 nm'nin altındaki banttaki cihazların epitaksiyal işlemi için geçerlidir (UV-C dezenfeksiyonu, sterilizasyon ve diğer alanlar).

● Nitrür yarı iletken epitaksi: Galyum nitrür (GAN) ve alüminyum nitrür (ALN) gibi yarı iletken malzemelerin epitaksiyal hazırlanması için kullanılır.

● Araştırma düzeyinde epitaksiyal deneyler: Üniversitelerde ve araştırma kurumlarında derin UV epitaksi ve yeni malzeme geliştirme deneyleri.

Güçlü bir teknik ekibin desteğiyle Vetek Semiconductor, müşteri ihtiyaçlarına göre benzersiz özelliklere ve işlevlere sahip duyucular geliştirebilir, belirli üretim süreçlerini destekleyebilir ve uzun vadeli hizmetler sağlayabilir.

CVD SIC kaplama filminin SEM verileri:

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri:

YarıiletkenSIC Kaplı Derin UV LED Suskun Ürün Mağazaları: