SIC kaplı gezegensel senseler

SIC kaplı gezegensel sensör,Silikon Karbür (sic)esas olarak metal-organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD), moleküler ışın epitaksisi (MBE) vb. Gibi yarı iletken malzeme biriktirme süreçlerinde kullanılır. Ana işlevi, biriktirme işlemi sırasında malzeme homojenliği ve termal alan tutarlılığını sağlamak için gofret taşımak ve döndürmektir. Ana işlevi, birikme sırasında malzeme homojenliği ve termal alan tutarlılığını sağlamak için gofretleri taşımak ve döndürmektir ve SIC kaplama, taşıyıcıya yüksek hassasiyetli yarı iletken için mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve termal iletkenlik sağlar.gofretişleme.

SIC kaplamalı gezegensel sensör için temel uygulama senaryoları

MOCVD epitaksiyal büyüme süreci

MOCVD sürecinde, SIC kaplamalı gezegensel sensör esas olarak silikon (SI), silikon karbür (sic), galyum nitrür (GaN), galyum arsenit (GAAS) ve diğer malzemelerin gofretlerini taşımak için kullanılır.

● İşlevsel gereksinimler: Gofret yüzeyinde buhar depozitlenmiş malzemelerin eşit dağılımını sağlamak ve film kalınlığı ve bileşiminin homojenliğini arttırmak için gofretlerin hassas konumlandırılması ve senkronize dönüşü.

● Avantaj: SIC kaplamalar oldukça korozyona dirençlidir ve hizmet ömrünü uzatan trimetilgalyum (TMGA) ve trimetilindiyum (TMIN) gibi yüksek reaktif metal-organik öncülerin erozyonuna dayanabilir.

Silikon Karbür (SIC) Güç Cihazı Üretimi

SIC kaplamalı gezegensel sensör, MOSFET, IGBT, SBD ve diğer cihazlar gibi SIC güç cihazlarının epitaksiyal büyümesinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

● İşlevsel gereksinimler: Epitaksiyal katman kristalizasyon kalitesi ve kusur kontrolü sağlamak için yüksek sıcaklık ortamlarında kararlı bir termal eşitleme platformu sağlayın.

● Avantaj: SIC kaplamaları, yüksek sıcaklığa (> 1600 ° C) dirençlidir ve silikon karbür gaferlerine yakın olan, termal gerilmeleri etkili bir şekilde azaltan ve epitaksiyal tabakanın kalitesini ve stabilitesini geliştiren bir termal genleşme katsayısına (4.0 × 10^-6 k^-1) sahiptir.

Derin Ultraviyole (DUV) ve ultraviyole LED epitaksiyal üretim

SIC kaplı gezegensel sensör, galyum nitrür (GAN) ve alüminyum galyum nitrür (algan) gibi malzemelerin epitaksiyal büyümesi için uygundur ve UV-LED'lerin ve mikro LED'lerin üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır.

● İşlevsel gereksinimler: Dalga boyu doğruluğunu ve cihaz performansını sağlamak için hassas sıcaklık kontrolü ve düzgün hava akışı dağılımını koruyun.

● Avantaj: Yüksek termal iletkenlik ve oksidasyon direnci, uzun süreli çalışma dönemlerinde yüksek sıcaklıklarda mükemmel stabiliteye izin vererek LED yongalarının aydınlık verimliliğini ve tutarlılığını artırmaya yardımcı olur.

Vekemicon'u seçin

Veteksemicon sic kaplı gezegensel sensör, benzersiz malzeme özellikleri ve mekanik tasarımı ile yüksek sıcaklık, aşındırıcı yarı iletken üretim ortamlarında yeri doldurulamaz avantajlar göstermiştir. Ve ana gezegensel sensör ürünlerimiz SIC kaplı gezegensel sensör,ALD Planet Sensör, TAC Kaplama Gezegen Suyuve benzeri. Aynı zamanda Veteksemicon, yarı iletken endüstrisine özelleştirilmiş ürünler ve teknik hizmetler sunmaya kararlıdır. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle bekliyoruz.