TAC kaplama yedek parça

YarıiletkenTAC kaplama plakasıyaygın olarak kullanılan özel bir malzemediryarı iletkenÜretim süreci. Yüksek sertlik ve aşınma direnci, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, düşük sürtünme katsayısı ve iyi termal iletkenlik ile birleştiğinde TAC kaplama plakası, yarı iletken işlemenin birçok bağlantısında yeri doldurulamaz bir rol oynar.

Genel olarak, uygulamalarıTAC kaplı plakalarYarı iletken işleme aşağıdaki gibidir:

● CVD/ALD büyüme substratı: TAC kaplı plakaların yüksek sıcaklık direnci, kimyasal stabilitesi ve düşük sürtünme katsayısı onları ideal CVD/ALD büyüme substratları yapar. Filmin tekdüzeliğini ve yoğunluğunu sağlamak için istikrarlı bir büyüme ortamı sağlayabilir.

●  Gravür: TAC kaplı plakaların yüksek sertlik ve korozyon direnci, plazma gravürü gibi yüksek enerjili işlemlere, aşındırma maskesi plakaları olarak, altta yatan filmin korunmasını sağlar.

●  CMP parlatma ped: TAC kaplı plakaların aşınma direnci ve düşük sürtünme katsayısı, filmin yüzeyindeki parçacıkları ve kusurları etkili bir şekilde giderebilen CMP parlatma pedleri için ideal malzemeler yapar.

●  Yüksek sıcaklıkta fırın tüpü: TAC kaplı plakaların yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci, yüksek sıcaklık tavlama, difüzyon ve diğer işlemler için yüksek sıcaklık fırınlarında fırın tüpleri olarak kullanılmasını sağlar.

CVD TAC Kaplama Teknik Parametreleri：

Vetek Yarıiletken TAC Kaplama Yedek Parça Ürünleri Mağazaları：