Tantal karbür yüzüğü

Vetek Semiconductor'ın tantal karbür (TAC) halkası, çekirdek malzeme olarak yüksek kaliteli grafit kullanır ve benzersiz yapısı sayesinde, şeklini ve mekanik özelliklerini bir kristal büyüme fırınının aşırı koşulları altında koruyabilir. Grafitin yüksek ısı direnci, ona mükemmel bir stabilite sağlar.kristal büyüme süreci.

TAC halkasının dış tabakası birtantal karbür kaplama, aşırı yüksek sertliği, 3880 ° C'nin üzerinde erime noktası ve kimyasal korozyona karşı mükemmel dirençle bilinen bir malzeme, özellikle yüksek sıcaklık çalışma ortamları için uygun hale getirir. Tantal karbür kaplama, şiddet içeren kimyasal reaksiyonları etkili bir şekilde önlemek ve grafit çekirdeğinin yüksek sıcaklık fırın gazları tarafından aşındırılmamasını sağlamak için güçlü bir bariyer sağlar.

SırasındaSilikon karbür (sic) kristal büyümesi, kararlı ve tekdüze büyüme koşulları, yüksek kaliteli kristallerin sağlanmasının anahtarıdır. Tantal karbür kaplama halkası, gaz akışının düzenlenmesinde ve fırın içindeki sıcaklık dağılımını optimize etmede hayati bir rol oynar. Bir gaz kılavuzu halkası olarak, TAC halkası ısı enerjisi ve reaksiyon gazlarının eşit dağılımını sağlar, bu da SIC kristallerinin düzgün büyümesini ve stabilitesini sağlar.

Ek olarak, grafitin yüksek termal iletkenliği, tantal karbür kaplamanın koruyucu etkisi ile birleştirildiğinde, TAC kılavuz halkasının SIC kristal büyümesi için gereken yüksek sıcaklık ortamında stabil bir şekilde çalışmasını sağlar. Yapısal mukavemeti ve boyutsal stabilitesi, fırında üretilen kristallerin kalitesini doğrudan etkileyen koşulları korumak için çok önemlidir. Fırın içindeki termal dalgalanmaları ve kimyasal reaksiyonları azaltarak TAC kaplama halkası, yüksek performanslı yarı iletken uygulamalar için mükemmel elektronik özelliklere sahip kristaller üretmeye yardımcı olur.

Vetek Semiconductor'ın tantal karbür halkası,Silikon Karbür Kristal Büyüme Fırınlarıve mükemmel dayanıklılığı, termal stabilitesi ve kimyasal direnci için öne çıkıyor. Grafit çekirdeği ve TAC kaplamasının benzersiz kombinasyonu, zorlu koşullar altında yapısal bütünlüğü ve işlevselliği korumasını sağlar. Fırın içindeki sıcaklık ve gaz akışını tam olarak kontrol ederek, TAC kaplama halkası, en yeni yarı iletken bileşen üretimi için kritik olan yüksek kaliteli SIC kristallerinin üretimi için gerekli koşulları sağlar.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TAC) kaplama：