Seçim Kılavuzu

Doğru CVD SiC, TaC kaplama veya Katı SiC'nin seçilmesi, epitaksi/gravür hatlarındaki parçacık seviyelerini ve bileşen ömrünü doğrudan belirler. Bu makale, hızlı kararlar almanıza ve riski azaltmanıza yardımcı olmak için, başlıca ekipman değiştirme çözümleri ve temel ölçümlerle eşleştirilen, sıcaklık, atmosfer ve prosese göre net seçim sınırları sağlar.