Seramik elektrostatik ayna

Yarıiletken üretim süreçleri, özellikle gofret işleme, bir vakum ortamında gerçekleştirilir ve mekanik olarak sıkıştırma gofretler taşır 

belirli riskler. Kuvvet sıkıştırma noktasına yoğunlaştığında, kırılgan silikon gofretler küçük parçalar dökebilir ve gofret üretimine ciddi zarar verebilir.

Bu durumda, seramik elektrostatik aynal daha iyi bir seçim haline gelir, bu da gofreti elektrostatik kuvvetle sabitler. Elektrostatik kuvvet gofret üzerinde eşit olarak hareket eder, böylece gofret düz bir şekilde sabitlenebilir ve işlemin doğruluğunu artırabilir.

İlgili araştırma makalelerine göre, seramik elektrostatik mandren diğer elektrostatik aynalardan daha güçlü bir emişe sahiptir. Örneğin, seramik elektrostatik aynal pet film elektrostatik mandrenden çok daha güçlü bir emişe sahiptir.

Seramik Chuck genellikle yüksek ısı direnci, yalıtım ve korozyon direncine sahip AL2O3, ALN veya SIC gibi yüksek performanslı seramik malzemelerden yapılır. Gözenekli SIC seramik chuck sadece aşırı sıcaklıklarda stabil olmakla kalmaz, aynı zamanda üretim işlemi sırasında kimyasal reaktifler ve plazma aşınması nedeniyle seramik e-chuck'ın bozulmasını etkili bir şekilde önler.

Sıcaklık kontrolü: Seramik malzemelerin yüksek termal iletkenlik ve stabil termal özellikleri, alümina seramik vakum manderinin sıcaklığı etkili bir şekilde kontrol etmesini sağlar, böylece işlem sırasında sıcaklık dağılımını optimize eder.

Vakum uyarlanabilirliği: Seramik elektrostatik aynal, özellikle düşük basınçlı ve yüksek hassasiyetli aşındırma işlemlerinde vakum ortamları için uygundur.

Düşük parçacık üretimi: Gözenekli SIC seramik e-chuck, gofret sabitleme sırasında parçacık kontaminasyonunu azaltabilecek ve ürün verimini iyileştirmeye yardımcı olabilecek pürüzsüz bir yüzeye sahiptir.

Uygulama: esas olarak yarı iletken üretiminde kullanılır, litografi, dağlama ve diğer yarı iletken gofret işleme üretim süreçleri için çok yararlı olan hassas konumlandırma ve stabilite sağlayan çıkarılabilir seramik elektrostatik aynada kullanılır. İşleme sırasında gofretin sağlam olduğundan emin olun ve çip üretiminin kalitesini iyileştirin.

YarıiletkenSeramik e-chuck üretim mağazaları: