Yarı İletken Seramik Nozul

Yarıiletken seramik nozul,HDP-CVD süreci, gaz akışını tam olarak kontrol etmek ve sağlamak için kullanılıryüksek kaliteli film biriktirme. Seramik meme spreyi, tutarlı ve kontrol edilebilir gaz akış hızlarını sağlamak için hassas bir şekilde tasarlanmıştır, gaz reaksiyon odasına girdiğinde olası türbülansı en aza indirir.

Teknik Özellikler:

1. Malzeme kompozisyonu:

VeTeK Yarı İletken Seramik kumlama nozulu tipik olarak alüminyum oksit (Al2O3) gibi Yarı İletken seramiklerden yapılır.silisyum karbür (SiC)veya zirkonyum oksit (ZrO2), bu malzemeler mükemmel özelliklere sahiptir:

    • yüksek termal stabilite (1000°C'nin üzerindeki sıcaklıklara dayanabilir)

    • kullanılan reaktif gazların neden olduğu korozyona karşı dirençCVD süreçleri(silan, amonyak gibi)

    • sürekli plazma maruziyetine karşı direnç.

2. Yapısal Tasarım:

    • Delik Boyutu: Yarıiletken seramik memenin deliği, gaz akışının hassas kontrolünü sağlamak için bilimsel olarak tasarlanmıştır, bu da filmin tekdüzeliğini ve kalınlığını etkiler.

    • Açılar ve Geometriler: Alt katman boyunca eşit gaz dağılımını sağlamak ve biriktirilen katmandaki kusurları en aza indirmek için hassas bir şekilde tasarlanmıştır.

Yarı iletken endüstrisinde, yarı iletken seramik patlama nozulu öncelikle HDP-CVD işleminde önemli bir rol oynar. Ayrıca, mikroelektronik üretimi için ince filmler biriktirmek için kullanılırlar, tek tip ve kirletici maddesiz yüksek kaliteli yüzey kaplamaları sağlar.

VeTeK Yarı İletken Seramik Nozul mağazaları: