Alümina Seramik Vakum Chuck

Alümina Seramik Vakum Chuck, yarı iletken işlemede epitaksiyal işlemler için bir gofret tutucudur. Gofretleri stabilize etmek ve epitaksiyal katmanların eşit büyümesini sağlamak için anahtar bir araçtır. Epitaksiyal ekipmanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.MocvdVeLPCVD.

Vetek Yarıiletken Alümina Seramik Vakum Chuck, yarı iletken üretiminin gofret incelme ve öğütme aşamalarında hayati bir rol oynar. Bu aşamalar, kalınlığını tam olarak azaltmayı içerir.gofret substratıYarı iletken cihazların verimliliğini ve ömrünü artırmak için gerekli olan çip ısı dağılmasını arttırmak için.

Çoklu gofret boyutlarıyla uyumlu: Vetek Yarıiletken Alümina Seramik Vakum Chuck, 2, 3, 4, 5, 6, 8 ve 12 inç dahil olmak üzere çok çeşitli gofret boyutlarını desteklemek için tasarlanmıştır. Bu uyarlanabilirlik, farklı gofret boyutlarında tutarlı ve güvenilir bir performans sağlayarak çeşitli yarı iletken üretim ortamları için uygun hale getirir.

Üstün malzeme bileşimi: Alümina Seramik Vakum Chuck'ın tabanı Ultra-Pure% 99.9999 alümina'dan yapılmıştır (AL₂O₃), kimyasal saldırıya ve termal stabiliteye mükemmel bir direnç sunar. Chuck yüzeyi gözenekliSilikon Karbür (sic). Gözenekli seramik malzeme, dayanıklılığını ve performansını artıran yoğun ve tek tip bir yapıya sahiptir.

FaydalarıGözenekli seramik teknolojisi：

Maddi saflık ve dayanıklılık:% 99.99 saf alüminadan yapılmış, alümina seramik vakum aynamız kimyasal saldırıya direnir ve mükemmel termal stabilite sunar, bu da son derece zorlu üretim ortamları için idealdir.

Optimal gözeneklilik ve hava geçirgenliği: Eşit dağılmış mikro gözenekler, mükemmel hava geçirgenliği ve düzgün adsorpsiyon kuvveti sağlar, bu da düzgün ve tutarlı bir çalışma ile sonuçlanır.

Gelişmiş düzlük ve paralellik: Mikro gözenekli alümina seramik vakum aynaları mükemmel düzlük ve paralelliğe sahiptir, bu da hassas gofret taşıma ve stabilite sağlar.

Özelleştirilmiş hizmet özellikleri: Veteksemi, 3 mm ila 10 mm arasında değişen kalınlıkta yuvarlak, kare, halka ve diğer tasarımlar dahil olmak üzere çeşitli özelleştirilebilir şekiller sağlayabilir. Bu özelleştirme, alümina seramik vakum aynalarımızın farklı yarı iletken üretim süreçlerinin özel ihtiyaçlarını karşılamasını ve kesinlikle ideal seçiminiz olmasını sağlar.

Vetek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kararlıdır ve içtenlikle Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı umuyoruz.

.Kimyasal formülüalümina seramikleri：

YarıiletkenAlümina Seramik Vakum Chuck Mağazaları: