Vakum Chuck

Başvuru: 

Gofretlerin ve külçelerin kesin adsorpsiyonu ve sıkı sabitlenmesi için hazırlanmış yüksek verimli bir vakum aynası. Yarıiletken üretimi, gofret kesme, hassas işleme, yüksek sıcaklık epitaksi, aşındırma ve iyon implantasyonu gibi durumlar için çok uygundur.

Çekirdek parametreler:

● Ayarlanabilir gözeneklilik (10 - 200μm arasında değişmektedir).
● Ultra - yüksek sıcaklıklara (≤1600 ° C'ye kadar) dayanabilir ve mükemmel termal şok direnci gösterebilir.
● Adsorpsiyon vakumu: Standart - 90kPa'dır (100KPA'ya ulaşmak için özelleştirilebilir).

● Emme kabı boyutları: 4/6/8/12 - inç gofretleri destekleyebilir ve Ingot boyutu belirli ihtiyaçlara göre uyarlanabilir.

Ⅰ. Tanım

Veteksemicon seramik vakum aynası, gözenekli seramik ve metal dış halkanın birleşik yapısını kullanır. Hava kanallarının ve gözeneklerinin kişiselleştirilmiş tasarımı sayesinde, adsorpsiyon kuvvetinin ve yüksek stabilitenin eşit dağılımını fark eder. Bu Chuck, yarı iletken üretim, gofret kesimi, hassas işleme vb. İçin uygundur. Yüksek sıcaklık ve yüksek hızlı hareket ayarlarında çalışabilir ve farklı boyutlardaki gofretlerin/ingotların uyumluluk gereksinimlerini karşılayabilir.

Ⅱ. Çekirdek yapı ve malzeme avantajları

Çok katmanlı kompozit düzen:

✔ Yüzey Katmanı: Gözenekli seramikten yapılmış (gözenekli silikon karbür veya gözenekli grafit arasında seçim yapabilirsiniz). Gözenek çapı ayarlanabilir (10 - 200μm), bu da adsorpsiyon kuvvetinin gofret yüzeyine eşit olarak aktarıldığını garanti ederek lokal stres oluşumunu önler.

✔ Matrix: Yapısal destek ve hava geçirmezlik sunmak için son derece sert bir metal çerçeveden (paslanmaz çelik veya alüminyum alaşım) oluşur.

✔ Hava yolları ve gözenekler: Tam olarak işlenmiş dahili hava yolları, eşit aralıklı mikroporlarla birlikte bir ağ oluşturur. Bu kurulum hızlı vakum ekstraksiyonunu (adsorpsiyon kuvveti - 90kpa'ya kadar ulaşabilir) ve anında serbest bırakmayı destekler.

Ⅲ . MA karşılaştırmasıTerial özellikler

1. Malzeme özelliklerinin karşılaştırılması

2. Uygulama senaryoları ve vakalar

✔ Yarı iletken fabricio

Epitaksiyal büyüme: SIC gofretlerini yüksek sıcaklıklarda sıkı bir şekilde adsorbe edebilir, bu da gofretlerin çözülmesini ve kontamine olmasını önleyebilir.

Litografi ve dağlama: Yüksek hızlı hareket eden platformlarda (hızlanma ≤10g) hassas konumlandırılmasını sağlar ve grafik hizalamanın doğruluğunu sağlar.

✔ İç içe işleme

Kesme ve öğütme: Ağır külçe (Safir ve Silikon - Karbür İngotları gibi) adsorbe edebilir ve titreşim nedeniyle kenar çatlamasını azaltır.

✔ Bilimsel Araştırma ve Özel Teknolojiler

Yüksek sıcaklık tavlama: Gözenekli silikon - karbür emme bardağı, deformasyon veya havalandırma kirliliği olmadan 1600 ° C'de sürekli çalışabilir.

Vakum kaplama: Yüksek hava gerginliği tasarımı ile PVD/CVD boşluk ortamına uyum sağlayabilir.

3. Özelleştirilmiş hizmet

✔ Boyut ve yük için özelleştirme sunuyoruz.

✔ Stomata ve hava yolu belirli gereksinimleri karşılayacak şekilde optimize edilebilir.

✔ Özel ortamlara uyarlanabilir.

Ⅳ. SSS:

Vakum aynaları nasıl çok boyutlu gofret uyumluluğuna ulaşır (örn. 12/8/6 ")?

S: Tek bir Chuck aynı anda 12 inç, 8 inç ve 6 inç gofrete nasıl sığar? Fiziksel yeniden yapılandırma gerekli mi?

A:Uyarlanabilir hava yolu ve stoma bölümleme yoluyla çok boyutlu uyumluluk:

✔ Dinamik stoma kontrolü: Enayi yüzeyindeki stomalar bir halka alanına dağıtılır ve farklı alanlardaki hava devresi harici bir valf tarafından kontrol edilir.

Örneğin, 8 inçlik bir gofret emilirken, sadece merkezi alandaki gözenekler etkinleştirilir ve dış gözenekler kapatılır (adsorpsiyon kuvvetinin sızmasını önlemek için).

✔ Esnek Hava Yolu Tasarımı: Port ağı, düzgün adsorpsiyon kuvveti kapsamını sağlamak için farklı boyutlardaki gofretlerin kenar profillerine uygun modüler bir düzene sahiptir. Ve Avantajlar aşağıdaki gibidir:

Sıfır Donanım Değiştirme: Emme bardağını çıkarmaya veya değiştirmeye gerek yok, yazılım veya gaz valfi anahtarı ile farklı boyutlara uyarlanabilir.

Maliyet tasarrufu: Ekipman yenileme maliyetlerini ve kesinti sürelerini azaltın ve üretim hattı esnekliğini artırın.