CVD SIC kaplı grafit duş başlığı

Veteksemicon CVD SIC kaplı grafit duş başlığı, hassas mühendislik yüzeyi, gofretler arasında tutarlı film birikimi elde etmek için kritik olan tek tip gaz dağılımı sağlar. .Sic kaplamaSadece aşınma ve oksidasyon direncini arttırmakla kalmaz, aynı zamanda sert süreç koşulları altında hizmet ömrünü uzatır.

Yarıiletken gofret imalat, epitaksi ve ince film birikiminde yaygın olarak uygulanan CVD SIC kaplı grafit duş kafası, yeni nesil yarı iletken üretiminin taleplerini karşılayan güvenilir, yüksek saflık ve uzun süreli işlem bileşenleri arayan üreticiler için ideal bir seçimdir.

Veteksemi CVD silikon karbür duş başlığı, yüksek saflıkta kimyasal buhar biriken silikon karbürden üretilir ve yarı iletken, LED ve gelişmiş elektronik endüstrilerindeki CVD ve MOCVD işlemleri için optimize edilmiştir. Olağanüstü termal stabilitesi, korozyon direnci ve düzgün gaz dağılımı, yüksek sıcaklıkta, yüksek aşındırıcı ortamlarda uzun süreli kararlı çalışmayı sağlar ve süreç tekrarlanabilirliğini ve verimini önemli ölçüde iyileştirir.

Veteksemicon cvd sic kaplı grafit duş baş çekirdek avantajları

● Ultra yüksek saflık ve yoğunluk

CVD SIC kaplı grafit duş başlığı, yüksek saflıkta bir CVD işlemi kullanılarak üretilir, bu da metalik safsızlıkları ortadan kaldırarak ≥99.9995 maddi bir saflık sağlar. Göze çarpmayan yapısı, gaz geçirgenliğini ve parçacık dökülmesini etkili bir şekilde önler, bu da yarı iletken epitaksi ve son derece yüksek temizlik gerektiren gelişmiş ambalaj işlemleri için idealdir. Geleneksel sinterlenmiş SIC veya grafit bileşenleri ile karşılaştırıldığında, ürünümüz uzun süreli yüksek sıcaklık çalışmasından sonra bile istikrarlı bir performansı korur ve bakım sıklığını ve üretim maliyetlerini azaltır.

● Mükemmel termal stabilite

Yüksek sıcaklık CVD ve MOCVD işlemlerinde, geleneksel malzemeler termal stres nedeniyle deformasyona veya çatlamaya karşı hassastır. CVD SIC duş başlığı, 1600 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanır ve hızlı sıcaklık artışları ve azalmaları sırasında yapısal stabilite sağlayarak son derece düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir. Tek tip termal iletkenliği, reaksiyon odası içindeki sıcaklık dağılımını daha da optimize eder, gofret kenarı ve merkez arasındaki birikme oranı farklılıklarını en aza indirir ve film homojenliğini iyileştirir.

● Anti-plazma korozyonu

Gravür veya biriktirme işlemleri sırasında, yüksek aşındırıcı gazlar (CF gibi₄, Cl₂ve hbr) geleneksel kuvars veya grafit bileşenlerini hızla aşındırır. CVD SIC materyali, plazma ortamlarında olağanüstü korozyon direnci sergiler, geleneksel malzemelerin 3-5 katı ömrü ile. Gerçek müşteri testi, 2000 saatlik sürekli çalışmadan sonra bile, gözenek boyutu varyasyonunun ±%1 içinde kaldığını ve uzun süreli stabil gaz akışı dağılımını sağladığını göstermiştir.

● Uzun ömür ve düşük bakım maliyeti

Geleneksel grafit bileşenleri sık sık değiştirme gerektirirken, SIC kaplamalı CVD duş başlığı, zorlu ortamlarda bile kararlı bir performansı korur. Bu, toplam maliyetleri%40'ın üzerinde azaltır. Ayrıca, malzemenin yüksek mekanik mukavemeti, kullanım veya kurulum sırasında kazara hasarı önler.

● Ekolojik zincir doğrulama onay

Veteksemicon CVD Silikon Karbür Duş Başlığı 'Ekolojik Zincir Doğrulama Hammaddeleri Üretime Kapsar, Uluslararası Standart Sertifikasyondan geçmiştir ve yarı iletken ve yeni enerji alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir.

Teknik parametreler

Proje	Parametre
Malzeme	CVD SIC (Kaplama Seçenekleri Mevcut)
Çap	100mm-450mm (özelleştirilebilir)
Kalınlık toleransı	± 0.05mm
Yüzey pürüzlülüğü	≤0.2μm
Uygulanabilir süreç	CVD/MOCVD/PECVD/GRADCHING/Epitaksi

Ana Uygulama Alanları

Uygulama yönü	Tipik senaryo
Yarı iletken üretimi	Silikon Epitaksi, GAN/GAAS Cihazları
Güç Elektroniği	SIC epitaksiyal gofret üretimi
NEDEN OLMUŞ	MOCVD Safir Substrat Birikimi
Bilimsel araştırma ekipmanı	Yüksek hassasiyetli ince film biriktirme sistemi

Ekolojik zincir doğrulama onay

Veteksemicon CVD Silikon Karbür Duş Başlığı 'Ekolojik Zincir Doğrulama Hammaddeleri Üretime Kapsar, Uluslararası Standart Sertifikasyondan geçmiştir ve yarı iletken ve yeni enerji alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir.

Ayrıntılı teknik özellikler, beyaz kağıtlar veya örnek test düzenlemeleri için lütfenTeknik destek ekibimizle iletişime geçinVeteksemicon'un süreç verimliliğinizi nasıl artırabileceğini araştırmak.