CVD SIC kaplama ısıtma elemanı

CVD SIC kaplama ısıtma elemanı esas olarak PVD (fiziksel buhar birikimi) ekipmanında kullanılır. Buharlaşma işleminde, malzeme buharlaşma veya püskürtme elde etmek için ısıtılır ve son olarak substrat üzerinde düzgün bir ince film oluşur.

Ⅰ.Özel uygulama

İnce film birikimi: CVD SIC kaplama ısıtma elemanı buharlaşma kaynağında veya püskürtme kaynağında kullanılır. Isıtma ile eleman, malzemeyi yüksek bir sıcaklığa biriktirilecek şekilde ısıtır, böylece atomları veya molekülleri malzemenin yüzeyinden ayrılır, böylece buhar veya plazma oluşturur. Isıtma elemanı bazlı SIC kaplamamız, bazı metal veya seramik malzemeleri, PVD işleminde bir malzeme kaynağı olarak kullanılmak üzere bir vakum ortamında buharlaştırmak veya süblime etmek için doğrudan ısıtabilir. Yapı eşmerkezli oluklara sahip olduğundan, ısıtmanın tekdüzeliğini sağlamak için mevcut yolu ve ısı dağılımını daha iyi kontrol edebilir.

Buharlaşma PVD işleminin şematik diyagramı

Ⅱ.Çalışma prensibi

Dirençli ısıtma, akım SIC kaplı ısıtıcının direnç yolundan geçtiğinde, joule ısı üretilir, böylece ısıtmanın etkisine ulaşır. Konsantrik yapı, akımın eşit olarak dağıtılmasını sağlar. Sıcaklığı izlemek ve ayarlamak için genellikle bir sıcaklık kontrol cihazı öğeye bağlanır.

Ⅲ.Malzeme ve yapısal tasarım

CVD SIC kaplama ısıtma elemanı, yüksek sıcaklıklı grafit ve yüksek sıcaklık ortamıyla başa çıkmak için SIC kaplamasından yapılmıştır. Yüksek saflıkta grafitin kendisi termal alan malzemesi olarak yaygın olarak kullanılmaktadır. Grafit yüzeyine CVD yöntemi ile bir kaplama tabakası uygulandıktan sonra, yüksek sıcaklık stabilitesi, korozyon direnci, termal verimliliği ve diğer özellikleri daha da geliştirilir.

Konsantrik olukların tasarımı, akımın disk yüzeyinde düzgün bir döngü oluşturmasını sağlar. Düzgün ısı dağılımı elde eder, belirli alanlarda konsantrasyonun neden olduğu yerel aşırı ısınmayı önler, mevcut konsantrasyonun neden olduğu ek ısı kaybını azaltır ve böylece ısıtma verimliliğini artırır.

CVD SIC kaplama ısıtma elemanı iki bacak ve bir gövdeden oluşur. Her bacakta güç kaynağına bağlanan bir iplik vardır. Vetek yarı iletken tek parça parçalar veya bölünmüş parçalar yapabilir, yani bacaklar ve gövde ayrı olarak yapılır ve daha sonra monte edilir. CVD SIC kaplı ısıtıcı için hangi gereksinimlere sahip olursanız olun, lütfen bize danışın. Veteksemi ihtiyacınız olan ürünleri sağlayabilir.

CVD sic kaplamanın temel fiziksel özellikleri ：