Silikon Karbür Seramik Kaplama Isıtıcı

YarıiletkenSilikon karbür seramik kaplama ısıtıcı, yüksek sıcaklık ve sert ortamlar için tasarlanmış bir ısıtıcıdır. Ekipmana mükemmel ısı direnci, korozyon direnci ve termal iletkenlik sağlamak için ısıtma elemanının yüzeyinde bir silikon karbon seramik kaplama tabakasını kaplar. 

Silikon Karbür Seramik Kaplama Isıtıcıesas olarak vakum kaplama (buharlaşma) ekipmanlarında kullanılır. Yaygın olarak kullanılan yöntemler, yarı iletken üretiminde ve diğer yüksek talep gören endüstriyel uygulamalarda yaygın olarak kullanılan PCD (plazma kimyasal kurutma) ve PVD'dir (fiziksel buhar birikimi).

Silikon karbür seramik kaplama ısıtıcısının yüksek performanslı kaplama tasarımı ile birlikte,Yüksek sıcaklık işlemleri için mükemmel bir ısıtma çözümü sağlayabilir.

Mükemmel termal iletkenlik: SIC malzemesi mükemmel termal iletkenliğe sahiptir, bu da ısıtıcının çalışma alanında düzgün ısı dağılımı elde edebilmesini ve sıcaklık gradyanlarını azaltmasını sağlar.

Tek tip ısı dağılımı sağlayın: Silikon Karbür Seramik Kaplama Isıtıcı, ısıtma alanı boyunca düzgün sıcaklık dağılımı elde etmek için SIC malzemesinin yüksek termal iletkenliğini kullanır. Bu, yarı iletken gofretlerin hızlı termal işleme (RTP), difüzyon ve oksidasyon gibi çeşitli yüksek sıcaklık işlemlerinde düzgün ısıl işlemeyi sağlamak, lokal aşırı ısınma veya eşit olmayan sıcaklığın neden olduğu ürün kusurlarından kaçınmak için kritiktir.

Yüksek sıcaklık toleransı: SIC kaplama, ısıtıcının, çeşitli yüksek sıcaklık işleme işlemleri için uygun, tipik olarak 1600 ° C'ye kadar son derece yüksek sıcaklıklara dayanmasını sağlar.

Isı direncini iyileştirin: Kaplama son derece yüksek sıcaklıklara dayanabileceğinden, uzun süreli yüksek sıcaklık çalışması gerektiren işlemlerde iyi performans gösterir. Örneğin, kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemlerinde, silikon karbür seramik kaplama ısıtıcısı, ekipmanın yüksek sıcaklıklarda uzun süreli sabit çalışmasını sağlayabilir ve tutarlı ısıtma performansını koruyabilir, böylece işlem tekrarlanabilirliği ve güvenilirliğini artırabilir.

Kimyasal korozyon direnci: SIC kaplama asit, alkali ve aşındırıcı gazlara karşı son derece yüksek dirence sahiptir ve ekipmanın ömrünü uzatan karmaşık bir kimyasal atmosfer ortamında uzun süre stabil kalabilir. 

Ekipmanın ömrünü uzatmak: SIC kaplama mükemmel oksidasyon direncine ve korozyon direncine sahiptir ve yüksek sıcaklıklarda kimyasal erozyona ve oksidasyona etkili bir şekilde direnebilir. Bu, yarı iletken üretim sürecinde, özellikle aşındırıcı gazları ve kimyasalları işleyen bir ortamda çok kritiktir. Kaplamanın koruyucu etkisi, ısıtıcının servis ömrünü önemli ölçüde genişletebilir ve ekipman değiştirme ve bakım maliyetlerinin sıklığını azaltabilir.

Silikon karbür seramik kaplama ısıtıcısının temel fiziksel özellikleri:

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Seramik Kaplama Isıtıcı Dükkanları:

Vetek Semiconductor Chip Epitaksi Endüstri Zincirine Genel Bakış: